第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

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電気学会センサ・マイクロマシン部門大会として，第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウ ムが10月20日（月）〜22日（水），松江市にて開催されます。
本シンポジウムは学・協会を超えた研究グループ間の情報の交換，アイデアの討議の場とし てセンサ・マイクロマシン技術のさらなる発展を目標に開催される日本最大のシンポジウムです。

同会場においては，日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門主催「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」および応用物理学会集積化 MEMS 技術研究会主催「集積化 MEMS シンポジウム」が同時に開催されます。

田畑研究室からの発表（共著を含む）は，以下の通りです。

【第31回・センサ・マイクロマシンと応用システム】

  • X. Ma, Y. Kato, Y. Hirai, F. Kempen, F. Keulen, T. Tsuchiya, O. Tabata
    An Optimization Tool for 3D Lithography Utilizing DMD-based Maskless Exposure System
  • 菅野公二, 松井大門, 土屋智由，田畑修 金ナノ粒子二量体の規則的配列構造による高感度表面増強ラマン分光

【第6回・マイクロ・ナノ工学シンポジウム】

  • 上杉晃生,平井義和, 土屋智由, 田畑修
    単結晶シリコンマイクロ構造体の引張応力下における脆性延性遷移
  • 池原毅, 土屋智由
    マイクロ構造上の面粗さによる強度低下簡単な見積り方法○
  • 土屋智由
    MEMS慣性力センサの信頼性

【第6回・集積化MEMSシンポジウム】

  • 外薗洸佑, 鈴木淳也, 平井義和, 土屋智由, 田畑修
    一本鎖DNAにより孤立アセンブルした単層カーボンナノチューブの電気特性