2014年度日本機械学会年次大会が９月７日～１０日まで東京電機大学（東京千住キャンパス）で開催されます．田畑研究室からは下記の３件の研究発表と，１件の産総研との共著の研究発表を行います．
[J224] 『マイクロ・ナノ機械の信頼性』のための材料創製・測定・解析技術
- 多段ICP-RIE プロセスにより一括作製したシリコンナノワイヤのMEMS引張試験
○土屋智由, 鈴木淳也, 平井義和, 田畑修
- 時間分解顕微ラマン分光のための両側静電駆動MEMS光チョッパ
○小北雄亮, 谷山彰, 平井義和, 土屋智由, 田畑修
- 赤外集光加熱を用いた単結晶シリコンマイクロ構造体の真空中高温引張試験
○上杉晃生, 安富貴浩,平井義和, 土屋智由, 田畑修 - シリコン微小構造の表面粗さによる応力効果の推定
○池原毅, 土屋智由
【学会ＨＰ】