第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム【Link】が9月26日‾27日の2日間,東京・タワーホール船堀で開催されます.また第3回マイクロ・ナノ工学シンポジウムも併催で開催されました.田畑研究室からは,土屋,菅野,平井,Singh,片岡の5名が参加し,2つのシンポジウムで合計7件(内,共著3件)の発表を行いました.
◆◆◆第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム◆◆◆
【B3 セルオンチップ】
◎K. Kamei, Y. Hirai, Y. Makino, L. Liu, Q. Yuan, Y. Chen, O. Tabata
フォトレジスト基板のマウス・ヒト多能性幹細胞に与える影響の評価
【C1 材料】
◎片岡達哉,平井義和,菅野公二,土屋智由,田畑修
誘電泳動によりアセンブルしたSWCNTの無電解Auめっきによる機械的・電気的クランピング
【C3 プロセスと応用】
◎菅野公二, 平岡亮二, Martin Klaumnzer, Michael Voigt, Wolfgang Peukert, 土屋智由, 田畑修
ナノトレンチテンプレートを用いたナノギャップ制御可能なナノ粒子セルフアセンブリ
【C5 設計・評価2】
◎平井義和, 柳生裕聖, 上杉晃生, 牧野圭秀, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修
MEMS厚膜ネガレジストの粗視化分子動力学モデル
【P2 MEMS/NEMS】
◎D.M. Chun, M. Sato, R. Yokokawa, I. Kanno, H. Kotera, O. Tabata
補償光学用圧電MEMS 形状可変ミラーのストローク向上に関する研究
【P4 フィジカルセンサ】
◎T.P. Singh, K. Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata
Analysis of acceleration sensitivity in frequency-decoupled MEMS tuning fork gyroscope
◆◆◆第3回マイクロ・ナノ工学シンポジウム◆◆◆
【OS1-2 マルチスケール・シミュレーションとナノ計測】
◎神谷庄司, 土屋智由, 池原毅, 佐藤一雄, 安藤妙子, 生津資大, 高島和希
異なる試験手法により得られたシリコンの疲労挙動の相互比較