１月２３日~２７日にメキシコ・カンクンで開催されたMEMS2011（http://www.ieee-mems2011.org）に田畑研究室から土屋，菅野，平井，佐藤，辻本，谷山が参加し，以下の３件の発表を行いました．また，土屋准教授の共著で１件の発表を行いました．
次回のMEMS2012（http://www.mems2012.org）はフランス・パリで開催されます．
【PACKAGING TECHNOLOGIES】
K. Tsujimoto, Y. Hirai, K. Sugano, T. Tsuchiya, and O. Tabata SACRIFICIAL MICROCHANNEL SEALING BY GLASS-FRIT REFLOW FOR CHIP SCALE ATOMIC MAGNETOMETER
【MATERIALS AND DEVICE CHARACTERIZATION】
A. Taniyama, Y. Hirai, K. Sugano, O. Tabata, T. Ikehara, and T. Tsuchiya LOCAL STRESS ANALYSIS OF SINGLE CRYSTALLINE SILICON RESONATOR USING MICRO RAMAN SPECTROSCOPY
S. Kamiya, T. Tsuchiya, T. Ikehara, K. Sato, T. Ando, T. Namazu, K. Takashima CROSS COMPARISON OF FATIGUE LIFETIME TESTING ON SILICON THIN FILM SPECIMENS
【MICRO-ACTUATORS】
M. Sato, I. Kanno, H. Kotera, and O. Tabata PIEZOELECTRIC MEMS DEFORMABLE MIRRORS WITH HIGH-DENSITY ACTUATOR ARRAY
