日本機械学会2010年度年次大会


9月6日~8日まで名古屋工業大学で日本機械学会 2010年度年次大会が開催されました.田畑研究室からは土屋,脇田,谷山が参加し,2件の発表を行いました.

高信頼マイクロ・ナノデバイスのための設計・計測技術(1):シリコンの破壊と疲労

  • T0302-1-1   (110)単結晶Siの引張試験における破壊の結晶異方性評価   ◎脇田 拓,平井 義和,菅野 公二,田畑 修,土屋 智由,池原 毅

高信頼マイクロ・ナノデバイスのための設計・計測技術(2):応力・ひずみ計測

  • T0302-2-2   顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン振動子の局所応力解析   ◎谷山 彰,平井 義和,菅野 公二,田畑 修,池原 毅,土屋 智由