MEMSの基礎から応用までを網羅した全45章，3冊の書籍です．各章はその分野の第1人者によって基礎的な事項から記述されています．MEMS研究者，技術者必携の書です．
Reliability of MEMS -Advanced Micro and Nanosystems Vol.6-
MEMSの信頼性についてまとめた初めての書籍です．前半5章は大学の研究者によるMEMS材料の機械的信頼性評価手法を記述．後半5章は企業研究者などの執筆者により実用化されつつあるMEMSデバイスの信頼性について記述されています．後半はまた，日本発のMEMSデバイスの紹介としても大変興味深いです．