有機機能材料のリソグラフィ加工コンソーシアム

-機能材料,マイクロナノ加工,バイオの融合-

京都先端科学大学 田畑 修
京都大学 平井 義和
(Last Update: 2021/07/20)

更新情報・NEWS

  • 2021/07/20 第11期の一般会員(法人または個人)は、随時、募集中です。
  • 2021/06/28 第40回定例会を開催しました。
  • 2021/05/27 規約を改定しました。
  • 2021/03/23 第39回定例会を開催しました。
  • 2021/01/09 本年もよろしくお願いいたします。
  • 2020/12/17 第38回定例会を開催しました。
  • 2020/09/25 第37回定例会を開催しました。

次回の定例会のご案内

第41回:9月に開催予定です。

定例会の開催概要

第40回:下記参照。
第39回まで:Link

第40回定例会(オンライン開催)

  • 日時:2021年6月28日(月) 午後1時15分~
  • 方式:Zoomを使ったオンライン開催
  • プログラム
    • BReeD FUTURE
    • マイクロナノ科学の最先端
      • 東京大学 肥後 昭男
      • 九州大学 佐久間 臣耶
    • ナノ・マイクロシステム工学研究室の最新の研究成果
      • 京都大学 楊 建東

ご挨拶

MEMS技術は、材料の多様化、加工の微細化、応用分野の多様化を伴いながら深化し、産業の基盤技術としての地位を固めてまいりました。新規な要素技術を応用した製品もセンサ・アクチュエータからMicroTAS、臓器チップ(Organ-on-a-Chip)など物理、化学、バイオ、医療と多様な分野に展開しています。センサ・MEMS分野に関わる材料メーカー、装置メーカー、応用製品開発メーカーは、いずれも自社技術の競争力を高め、他社との差別化をするために、研究開発における選択と集中が求められており、特化した製品分野における高い技術開発が必要とされています。しかし、技術の多様化に伴い、研究開発動向を見極めて自社の新しい研究開発方向を定めることは加速度的に困難になりつつあります。

MEMSの深化を支える基幹技術の中で、常に最も重要な技術として位置付けられてきたリソグラフィ技術を例にすると、レジスト技術は厚膜化のみならずMEMSの構造材料および機能材料として発展を続け、また露光技術は光源の多様化、短波長化のみならず移動マスク露光、マスクレス露光などの多様な方式が提案されています。自社の新しい研究開発方向を定めてリソグラフィプロセスの中の個別要素技術を開発するには、一連のリソグラフィプロセス全体、さらにはエッチングなどの後工程も含めた全体工程の中で自社技術を評価することが必要です。しかし、個々の材料メーカーや装置メーカーが、一連の工程に関連する多様な個別技術の研究開発動向を見極めた上で、技術課題を見つけて製品開発に反映させることは容易ではありません。

企業で15年間、大学で25年、センサ・MEMS研究一筋に携わり、ナノ・マイクロ領域の3次元加工を常に研究の中核としてきました。京都大学ナノテクノロジーハブ拠点の設置を契機として、企業におけるセンサ・MEMS分野の製品開発を支援し、日本の技術イノベーションを推進するために、2011年9月に「有機機能材料のリソグラフィ加工コンソーシアム」を設立しました。現在、当コンソーシアムはナノ・マイクロ加工技術を中核に据え、MEMS・センサ・バイオ応用に関わる調査・情報交換を行うことで次世代の研究開発動向を見極めると共に、共同で基礎技術の研究開発を行って成果の共有を目指しています。


新型コロナ禍の長期化が避けられない今、コンソーシアムを通じた当該分野の調査・情報交換に関する企業ニーズはますます高まっています。2020年9月からの第10期では、第10期に引き続いて海外からの講演者を積極的に招聘し、参加者は場所を問わずどこからでも参加できる「オンサイト&オンライン融合(ハイブリッド)方式」で開催します(※コロナ感染症の状況により、完全オンライン開催の場合があります)。この新方式で、シリコン半導体微細加工を基盤技術とするMEMSを中心にし、その応用分野としてバイオ、細胞、医療分野も含めて、ますます発展的にセンサ・MEMS分野に関わる企業の研究開発支援を実施して参る所存です。この趣旨にご賛同頂ける企業には、是非とも会員としてご参画頂きますよう、お願い申し上げます。


  • 有機機能材料のリソグラフィ加工コンソーシアム 規約(2021年5月)【PDF】

2021年7月吉日
顧問 京都先端科学大学 田畑 修

第11期(2021/9~2022/8)の活動について

  1. 年4回(3・6・9・12月)開催の定例会の内容
    • オンサイト&オンライン融合(ハイブリッド)方式で開催
    • 【新】定例会のリアルタイム配信と見逃し視聴(オンデマンド配信 ※制限あり)
    • BReeD FUTURE(未来を育むBusiness・Research・Development)の最前線
      • 海外からの講演者
      • 国内企業の研究開発者
    • センサ/MEMS/ナノ・マイクロ加工技術に関連する国際会議での発表内容紹介
    • 当コンソーシアムの大学メンバーによる未発表内容を含むシーズ技術研究成果の発表
    • コンソーシアム会員メンバー間での情報交換
  2. 京都大学ナノテクノロジーハブ拠点と連携した技術相談
  3. 当コンソーシアムの目的に関連する講演会、集中講義、実験実習など学習機会の提供

  • 入会手続き/問い合わせ先
    • 年会費:40万円(税込み)
      • 京都大学大学院工学研究科「共同事業料」として。
      • 申込書に基づき、後日、本学より請求書を発行いたします。
      • 定例会への一法人あたりの参加人数の上限はありません。
    • 問い合わせ先
      • Email: litho-conso@nms.me.kyoto-u.ac.jp
      • 担当: 京都大学大学院 工学研究科マイクロエンジニアリング専攻 平井 義和
      • 住所: 〒615-8540 京都市西京区京都大学桂C3 C2N05
      • 電話: 075-383-3693

2020年7月21日