Daily Archives: 2011/05/21


HARMST 2011

6月12日~18日に台湾・新竹で開催されたHARMST 2011(http://www.harmst2011.tw/)で 田畑研究室から平井が参加し,下記の発表を行いました. 次回のHARMST2013は,2013年6月にドイツ・ベルリンで […]


顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン微細構造の動的応力解析

振動する単結晶シリコン微細構造に負荷される瞬間ごとの応力の実験的な評価を目指しています。本研究は、単結晶シリコンを主な構成材料とするMEMS構造の機械的な信頼性評価・保証に役立つことが期待されます。応力評価には、顕微ラマン分光法を用います。 […]


MEMSデバイスを用いたCarbon Nanotube引張試験

   統計評価可能な測定数実現をめざし、カーボンナノチューブ(CNT)引張試験法を開発しています。CNTは極めて微小なため欠陥がその強度に大きく影響し、測定結果がばらつくことが予想されます。しかし、従来の測定法ではCNTを測定系に組み込む工 […]


大変位による非線形応答を考慮した静電櫛歯型MEMSデバイスの電気等価回路の構築

MEMSデバイスは半導体微細加工技術を用い,微小な機械構造を電子回路とともに作りこむものです.そのためMEMSデバイスの設計や解析においては電気系・機械系の複雑な練成解析が必要となります.そこで,電気系と機械系を一度に解析することができる電 […]


シリコン基板のDNA修飾によるDNAオリガミのセルフアセンブル

ナノメートルスケールの材料を基板上に組み付けることで,さらに高機能のMEMSを実現する実装技術に関する研究を行っています.従来法に比べて格段に高い位置精度かつ比較的短時間でナノ材料を基板上に組付ける技術を確立するために,我々はナノ材料を組付 […]


高速脈動混合マイクロ流体デバイスによる均一粒子径金ナノ粒子の合成

高速脈動混合を利用することで均一なサイズの金ナノ粒子を合成する研究をしています.金ナノ粒子はサイズによって異なる特性を示すため,それぞれの応用目的に適したサイズの粒子を均一に合成する技術が必要とされています.そこで本研究では3方向脈動混合法 […]


原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止

幅広い応用分野での活躍が期待される原子磁気センサで中心的役割を果たすセル(アルカリ金属蒸気と不活性ガスを気密封止したガラス容器)内の雰囲気制御性の向上を目指した新規なMEMS気密封止技術の確立に取り組んでいます.提案手法のコンセプトは,セル […]