マイクロスケールでのセルフアセンブルプロセスのモデリング
MEMS（Micro Elec […]
金ナノ粒子及び金ナノロッドパターニング技術
金ナノ粒子や金ナノロッドは局在表面プ […]
DNAハイブリダイゼーションによりセルフアセンブルしたマイクロコンポーネントの付着力測定
MEMS(Micro Electro […]
電気等価回路を用いた静電櫛歯トランスデューサの解析
静電容量型MEMSデバイスは機械構造 […]
金ナノ粒子生成用マイクロリアクタ
金ナノ粒子はバルク材とは異なる特性を […]
金ナノ粒子創製用マイクロ流体デバイス
金ナノ粒子はバルクと異なる光学的特 […]
形状記憶合金薄膜アクチュエータの基礎技術とその応用
近年加速的にデバイスの小型化が進み， […]
DNAを用いた順序制御可能なマイクロチップアセンブリ
MEMS（Micro Elec […]
粒子転写法によるナノ粒子パターニング
ナノメートルスケールの粒子は量 […]
ナノスケール材料引張試験用静電容量型MEMSデバイス
カーボンナノチューブ（CNT）やフラ […]
薄膜材料の引張疲労試験・高温引張試験
材料のサイズが非常に小さくなると，そ […]
厚膜フォトレジストの3次元微細加工技術
従来のフォトリソグラフィ技術では実現 […]