News


Transducers2009

2009年6月21日からTransducers2009が米国・デンバーで開催されました. 田畑研からは次の口頭発表とポスター発表を行いました. Y. Hirai, K. Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata &#82 […]


MEMS2009

MEMS2009が1月25日~29日イタリア,ソレントで開催されました. 3件の招待講演,47件の口頭,229件のポスター発表があり,田畑研からは次の口頭発表を行いました. T. Tanemura, G. Lopez, R. Sato, K […]


SEMICON2008

12月4日(水)より3日間、幕張メッセ(千葉)にて開催された「セミコン・ジャパン2008」に出展しました。 開催期間中は連日、多くの皆様にブースへご来場いただき、大変ありがとうございました。     【展示ポスターに関す […]


第19回マイクロマシン/MEMS展

2008年7月29日(水)~8月1日(金)に開催された第19回マイクロマシン/MEMS展に出展しました。 開催期間中は連日多くの皆様にブースへご来場いただき、大変ありがとうございました。 なおブースで展示しておりました研究内容に関するご意見 […]


電気学会全国大会

電気学会全国大会 (2008年3月19~21日 福岡工業大学) において,2件の発表を行います 3-096 レジスト現像特性の露光波長依存性を応用した厚膜レジストの3次元微細加工技術 3-137 櫛歯型垂直変位電極を用いた基板面内軸回転検出 […]