9月11日(日)～14日(水)，九州大学伊都キャンパスで日本機械学会2016年度年次大会が開催されます．田畑研究室からは以下の発表を行います．
学会HP：http://www.jsme.or.jp/conference/nenji2016/index.html
[J221-01] マイクロ・ナノ機械の信頼性(1)
J2210105
せん断型ひずみゲージ集積化単結晶シリコンマイクロ構造並列引張試験デバイス
○安田莞司, 上杉晃生, 平井義和, 土屋智由, 田畑修
J2210106
サブミクロンギャップを有する静電容量型センサにおけるプルイン防止設計
○土屋智由, 松井祐樹, 平井義和, 田畑修
[J221-03] マイクロ・ナノ機械の信頼性(3)
J2210305
サブミクロン厚のプラズマCVD-DLC薄膜で全面被覆されたシリコンマイクロ構造の引張試験
○張文磊, 上杉晃生, 平井義和, 土屋智由, 田畑修
J2210306
(110)シリコンの高温下のすべりと破壊に及ぼす引張軸方位の影響
○上杉晃生, 平井義和, 土屋智由, 田畑修
[G220] マイクロ・ナノ工学部門一般セッション
G2200103
厚膜ネガレジスト用三次元リソグラフィシミュレータの開発
○中村克生, Larramendy Florian, 平井義和, 土屋智由, Oliver Paul, 田畑修