第30 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

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第30 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウムが11月5日‾7日まで仙台で開催されます．田畑研究室からは共著発表を含めて，以下の4件を発表します．

  • 5PM3-PSS-013
    時間分解顕微ラマン分光によるSi 振動子の動的応力測定のための両側静電駆動型MEMS 光チョッパ
    ○小北 雄亮，谷山 彰，平井 義和，田畑 修，土屋 智由
  • 5PM3-PSS-117
    粗視化モデルを用いたMEMS 化学増幅型ネガレジストの分子構造依存性解析
    成瀬 圭介，○柳生 裕聖，平井 義和，土屋 智由，田畑 修
  • 6AM2-A-4
    原子磁気センサのための新規なオンチップアルカリ金属蒸気セルの作製手法と評価
    ○辻本 和也，藩 和宏，平井 義和，菅野 公二，土屋 智由，水谷 夏彦，田畑 修
  • 6PM3-PSS-058
    静電容量型SOI3軸加速度センサの角速度横感度
    ○中野 篤，平井 義和，土屋 智由，田畑 修，梅田 章

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