10月22日(月)~24日(水)の３日間，北九州国際会議場 および西日本総合展示場で，
- 第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム （電気学会センサ・マイクロマシン部門）
- 第4回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」 （日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門）
- 第4回「集積化MEMSシンポジウム」 （応用物理学会集積化MEMS技術研究会）
が同会場にて開催されます．
田畑研究室からは２つのシンポジウムで，以下の３つの論文を発表します．
【第4回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」】
（http://www.mesl.t.u-tokyo.ac.jp/mnm2012/）
● OS7-3-5
単層カーボンナノチューブの MEMS 引張試験における顕微ラマン分光を用いたひずみ測定
鈴木淳也，片岡達哉，平井義和，菅野公二，土屋智由，田畑修
● P-G2-1
多結晶シリコン薄膜の面外曲げ振動を用いた疲労寿命評価
種村友貴，山下秀一，和戸弘幸，竹内幸裕，土屋智由，田畑修
【第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム】
（http://www.sensorsymposium.org/2012/outline_j.html）
● 3E2-3
粗視化分子動力学シミュレーションによる架橋度制御ネガレジストの分子透過係数解析
平井義和，柳生裕聖，牧野圭秀，菅野公二，土屋智由，田畑修