9月21日〜24日の4日間、愛媛大学で「日本機械学会・M&M2012材料力学カンファレンス」が開催されます(https://www.jsme.or.jp/conference/mmdconf12/)。田畑研究室からは下記の発表を行います。
【ナノ物性計測・評価2】
加工条件の異なる(110)<111>単結晶シリコン薄膜の引張試験
●上杉晃生,平井義和,菅野公二,土屋智由,田畑修
9月21日〜24日の4日間、愛媛大学で「日本機械学会・M&M2012材料力学カンファレンス」が開催されます(https://www.jsme.or.jp/conference/mmdconf12/)。田畑研究室からは下記の発表を行います。
【ナノ物性計測・評価2】
加工条件の異なる(110)<111>単結晶シリコン薄膜の引張試験
●上杉晃生,平井義和,菅野公二,土屋智由,田畑修