日本機械学会２０１１年度年次大会【Link】が９月１１日~１４日の４日間，東京工業大学・大岡山キャンパスで開催されました．
田畑研究室からは下記の発表を行いました．
【情報・知能・精密機器（マイクロナノメカトロニクス）】
◎上杉 晃生, 牧野 圭秀，柳生 裕聖，平井 義和，菅野 公二，土屋 智由，田畑 修
エポキシ系ネガレジスト機械的特性の架橋度依存性
日本機械学会２０１１年度年次大会【Link】が９月１１日~１４日の４日間，東京工業大学・大岡山キャンパスで開催されました．
田畑研究室からは下記の発表を行いました．
【情報・知能・精密機器（マイクロナノメカトロニクス）】
◎上杉 晃生, 牧野 圭秀，柳生 裕聖，平井 義和，菅野 公二，土屋 智由，田畑 修
エポキシ系ネガレジスト機械的特性の架橋度依存性