2009年度も工学研究科・修士課程配当科目「微小電気機械システム創製学」で香港科技大学（HKUST）と京大とのジョイント講義を実施しました．その講義の一環として，双方の大学の学生それぞれ１名ずつでペアを組み，計５チームがMEMSの設計を共同で進めました．
本年度の課題は「MEMS Heatuator (Electro-thermal actuator)を用いたTug-of-Wars（綱引き）」．Heatuatorとは，電流を流すことにより発生するジュール熱を用いてSiマイクロ構造を駆動させる熱アクチュエータの一種です．
ジョイント講義では，0.5mm×0.3mm四方の領域内に，決められたプロセスルールに従ってHeatuatorを作製し， (1)最大印加電圧は10V (2)相手のHeatuatorを最低8um引っ張り，１分間保持する (3)デバイスをオーバーヒートさせてはならない の規定でTug-of-Warsコンテストを行ないました．
コンテスト（デバイス評価）の様子はこちらをクリック(YouTube)．
なお過去の「微小電気機械システム創製学」の取り組みは，下記のHP（丸紅情報システムズ）でも紹介されています．
【関係リンク】
香港科技大学(Department of Electronic and Computer Engineering)
丸紅情報システムズ「MEMS開発統合ソフト・CoventorWare」
