セミコン･ジャパン 2009

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セミコン･ジャパン 2009が12月2日(水)~4日(金)の3日間，幕張メッセで開催されました．

田畑研究室の「京都大学マイクロエンジニアリング専攻（M-04）」へは，多くの皆様にご来場いただき，大変ありがとうございました． なお展示ポスターの研究内容は，左側メニューにある「研究室紹介」，もしくは「研究成果」のページをご覧ください．

【主なポスター展示内容】

  • 移動マスクＵＶ露光技術 Y. Hirai et al., “Parameter optimization method for fabricating 3D microstructures embedded in single-layer negative-tone photoresist”, Transducers’09, pp. 1616-1619.
  • 薄膜材料の機械的物性測定・評価 脇田拓 他４名, “単軸引張試験による単結晶シリコンの機械的特性の結晶異方性評価”,第１回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 日本機械学会マイクロ・ナノ工学専門会議, pp.39-40.
  • ナノ材料引張試ｱデバイス Y. Ura et al., “Tensile testing of fullerene nano wire using electrostatic MEMS device”, Transducers’09, pp. 2062-2065.
  • 静電容量型加速度センサ H. Hamaguchi et al., “A differential capacitive three-axis SOI accelerometer using vertical comb electrodes”, Transducers’07, pp. 1483-1486.
  • DNAのハイブリダイゼーションによるシーケンシャルアセンブル T. Tanemura et al., “Sequential and selective self-assembly of micro components by DNA grafted polymer”, MEMS2009, pp. 184-187.
  • ナノ粒子アセンブル技術 T. Ozaki et al., “Gold aanopatice patterning by self-assembly and tranfer for LSPR based sensing”, MEMS2008, pp. 1048-1051.
  • マイクロ流体デバイスを用いたナノ粒子創成技術 S. Tanaka et al., “Analysis of valveless piezoelectric micropump using electrical equivalent circuit model”, Transducers’07, pp. 2183-2186.

【その他・関係リンク】

  • 京都大学大学院工学研究科　マイクロエンジニアリング専攻ナノメトリックス工学研究室（小寺研究室）　【Link】
  • 京都・先端ナノテク総合支援ネットワーク　【Link】
  • 京都大学ナノメディシン融合教育ユニット　【Link】

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