第26回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム


平成21年10月15日から16日に開催された第26回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウムと 同時開催の第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム(日本機械学会マイクロ・ナノ工学専門会議主催)で, 田畑研究室から以下の発表を行いました.

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

  • 【A3-4】中田哲博,菅野公二,土屋智由,田畑修 十字型混合流路による2液脈動混合の高速化
  • 【A5-2】徳崎裕幸,菅野公二,土屋智由,田畑 修 自己変位検出機能を有する面内2自由度静電櫛歯電極の等価回路
  • 【B3-1】平井義和,菅野公二,土屋智由,田畑修 厚膜ネガレジストの埋め込み型流路作製のためのフォトリソグラフィ条件の決定手法

マイクロ・ナノ工学シンポジウム

  • 脇田拓,菅野公二,土屋智由,田畑修,池原毅 単軸引張試験による単結晶シリコンの機械的特性の結晶異方性評価