１２月４日（水）より３日間、幕張メッセ（千葉）にて開催された「セミコン・ジャパン２００８」に出展しました。 開催期間中は連日、多くの皆様にブースへご来場いただき、大変ありがとうございました。
【展示ポスターに関する主な学会発表】
- Y. Hirai et al., “Moving-Mask UV Lithography for 3-Dimensional Positive- and Negative-Tone Thick Photoresist Microstructuring”, Transducers’07, pp. 545-568.
【abstract】 - T. Tsuchiya et al., “Fabrication of Free-standing Fullerene Nanowire using Direct Electronbeam Writing and Sacrifical Dry Etching”, MEMS2008, pp. 689-692.
【abstract】 - T. Ikeda et al., “Tensile Testing of Single Crystal Silicon Thin Films at 800 degree C using IR Heating”, Transducers’07, pp. 571-573.
【abstract】 - H. Hamaguchi et al., “A Differential Capacitive Three-Axis SOI Accelerometer using Vertical Comb Electrodes”, Transducers’07, pp. 1483-1486.
【abstract】 - T. Kusakabe et al., “DNA Mediated Seqential Self-assembly of Nano/Micro Components”, MEMS2008, pp. 1052-1055.
【abstract】 - T. Ozaki et al., “Gold Nanopatice Patterning by Self-assembly and Tranfer for LSPR Based Sensing”, MEMS2008, pp. 1048-1051.
【abstract】 - S. Tanaka et al., “Analysis of Valveless Piezoelectric Micropump Using Electrical Equivalent Circuit Model”, Transducers’07, pp. 2183-2186.
【abstract】
【その他・関係リンク】