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#author("2022-12-26T10:06:11+00:00","","")
#author("2023-03-13T06:02:39+00:00","","")
#norelated
* 機械系クリーンルーム mechCR [#h798d92c]
このページは、機械系クリーンルームの情報を掲載します．
** Introduction 紹介 [#z2314fa6]
- [[Overview, 概要>GeneralInformation]] -- まだ書いていません
- [[Doc for walkthrouhgh, 利用ルール>TermOfUse]] -- [[Take walkthrough, 講習会>UserTraining]]を受けてください
- [[News, 最新情報>MLArchive]]　-- には目をとおすこと
- [[User meeting materials, ユーザミーティング>UMArchive]]　-- Check this link for rules. 過去のミーティングで使用したスライドを保存しています．

**Application form, 利用申請書 [#d39f5f4c]
Japanese ver：&ref(桂CR利用申請書_ja.xlsx);~
English ver：&ref(Application_form_for_mechCR_en.xlsx);

** Machines 装置 [#kf839cfc]
-&color(black,yellow){[[How to take an operation training to be a user, オペトレの受け方>OperationTraining]]};~
-&color(black,yellow){[[How to book a machine, 装置予約>ReservingMachine]]};
-[[Superusers (trainer), スーパーユーザ>SuperUsers]]
*** [[Yellow Room イエロールーム>YellowRoom]] [[&ref(https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/mechCR/Web/uploads/reservation2.png,nolink,Yellow);>https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/mechCR/Web/schedule.php?sid=1]] [#k9eeb991]
//-[A52] [[Stepper]] -- ステッパ [[&ref(https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/mechCR/Web/uploads/reservation.png,nolink,KS-7000);>https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/mechCR/Web/reservation.php?rid=17&sid=1]]
-[[MovingMaskAligner]] -- 移動マスク露光装置  [[&ref(https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/mechCR/Web/uploads/reservation.png,nolink, MUM-0001);>https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/mechCR/Web/reservation.php?rid=2&sid=1]]
//-[A53] [[MovingMaskAligner]] -- 移動マスク露光装置
-[A54] [[DoubleSideAligner]] -- 両面露光装置 [[&ref(https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/mechCR/Web/uploads/reservation.png,nolink,PEM-800);>https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/mechCR/Web/reservation.php?rid=1&sid=1]]
- [[LaserExposure]] -- レーザ直描露光装置 [[&ref(https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/mechCR/Web/uploads/reservation.png,nolink.uPG101);>https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/mechCR/Web/reservation.php?rid=6&sid=1]]
- [[SingleSideAligner]] -- 簡易露光装置 [[&ref(https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/mechCR/Web/uploads/reservation.png,nolink,LA310S);>https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/mechCR/Web/reservation.php?rid=4&sid=1]]
- [[HotPressMachine]] -- ホットプレス [[&ref(https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/mechCR/Web/uploads/reservation.png,nolink,HotPress);>https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/mechCR/Web/reservation.php?rid=16&sid=1]]

*** [[Clean Room クリーンルーム>CleanRoom]] [[&ref(https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/mechCR/Web/uploads/reservation2.png,nolink,CR);>https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/mechCR/Web/schedule.php?sid=1]] [#u1ca1534]
- [A51] [[ElectronBeamWirter]] -- 電子ビーム露光装置 [[&ref(https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/mechCR/Web/uploads/reservation.png,nolink,L-5000);>https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/mechCR/Web/reservation.php?rid=5]]
- [B52] [[ICP-RIE]] -- ICP-RIE [[&ref(https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/mechCR/Web/uploads/reservation.png,nolink,NE-730);>https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/mechCR/Web/reservation.php?rid=3&sid=1]]
- [[CompactEtcher]] -- コンパクトエッチャ [[&ref(https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/mechCR/Web/uploads/reservation.png,nolink,FA-1);>https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/mechCR/Web/reservation.php?rid=15&sid=1]]
//- [B53] [[CompactEtcher]] -- コンパクトエッチャ
- [[WaferBonder]] -- ウエハ接合装置 [[&ref(https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/mechCR/Web/uploads/reservation.png,nolink,WAP-100);>https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/mechCR/Web/reservation.php?rid=18&sid=1]]
//- [B54] [[WaferBonder]] -- ウエハ接合装置
- [[RIE]] -- 汎用RIE [[&ref(https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/mechCR/Web/uploads/reservation.png,nolink,RIE-10NR);>https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/mechCR/Web/reservation.php?rid=12&sid=1]]
- [[SputteringSystem]] -- スパッタ [[&ref(https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/mechCR/Web/uploads/reservation.png,nolink,SVC-700RFI);>https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/mechCR/Web/reservation.php?rid=8&sid=1]]
- [[ThermalDeposition]] -- 抵抗加熱蒸着装置 [[&ref(https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/mechCR/Web/uploads/reservation.png,nolink,VPC-260F);>https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/mechCR/Web/reservation.php?rid=9&sid=1]]
- [[EBDeposition]] -- 電子ビーム蒸着装置 [[&ref(https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/mechCR/Web/uploads/reservation.png,nolink,EBDepo);>https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/mechCR/Web/reservation.php?rid=19&sid=1]]
- [[Nanoimprint]] -- ナノインプリント装置 [[&ref(https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/mechCR/Web/uploads/reservation.png,nolink,MSP-1000HC);>https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/mechCR/Web/reservation.php?rid=20&sid=1]]
- [[Nanoimprint2]] -- ナノインプリント装置 [[&ref(https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/mechCR/Web/uploads/reservation.png,nolink,L-5000);>https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/mechCR/Web/reservation.php?rid=21&sid=1]]
- [[DesktopSEM]] -- 卓上SEM [[&ref(https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/mechCR/Web/uploads/reservation.png,nolink,TM3000);>https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/mechCR/Web/reservation.php?rid=11&sid=1]]
- [[IRInspector]] -- 赤外透過検査システム

*** [[Chemical Treatment Room化学処理室>ChemicalTreatmentRoom]] [[&ref(https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/mechCR/Web/uploads/reservation2.png,nolink,Chemical);>https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/mechCR/Web/schedule.php?sid=1]] [#i57fde1f]
- [B51] [[ParyleneCoater]] -- パリレン蒸着装置 [[&ref(https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/mechCR/Web/uploads/reservation.png,nolink,PDS2010);>https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/mechCR/Web/reservation.php?rid=7&sid=1]]
- [[Dicer]] -- ダイサー [[&ref(https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/mechCR/Web/uploads/reservation.png,nolink,DAD322);>https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/mechCR/Web/reservation.php?rid=14&sid=1]]
//- [B56] [[Dicer]] -- ダイサー
- [[3DPrinter]] -- 3Dプリンタ [[&ref(https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/mechCR/Web/uploads/reservation.png,nolink,3DPrinter);>https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/mechCR/Web/reservation.php?rid=26&sid=1]]
- [[SurfaceProfilometer]] -- 触針式段差計[[&ref(https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/mechCR/Web/uploads/reservation.png,nolink,Dektak XT-S);>https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/mechCR/Web/reservation.php?rid=10&sid=1]]
- [[BallWireBonder]] -- ボールボンダ[[&ref(https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/mechCR/Web/uploads/reservation.png,nolink,K&S4524);>https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/mechCR/Web/reservation.php?rid=23&sid=1]]
- [[WedgeWireBonder]] -- ウェッジボンダ[[&ref(https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/mechCR/Web/uploads/reservation.png,nolink,SW-1-7K);>https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/mechCR/Web/reservation.php?rid=22&sid=1]]
- [[CriticalPointDryer]] -- 臨界点乾燥装置[[&ref(https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/mechCR/Web/uploads/reservation.png,nolink,K850);>https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/mechCR/Web/reservation.php?rid=24&sid=1]]
- [[ThicknessProfilometer]] -- 光干渉膜厚測定システム[[&ref(https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/mechCR/Web/uploads/reservation.png,nolink,Filmetrics);>https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/mechCR/Web/reservation.php?rid=27&sid=1]]


** Maintenance メンテナンス [#cc1efd87]

- [[作業日誌>MaintenanceDiary]]

** CROperationWG [#le619993]

- [[WG委員会議事録>WGMinutes]]

** PukiWikiドキュメント [#v0e19c44]
- [[ヘルプ>Help]] -- PukiWikiで編集するには？
- [[テキスト整形のルール(詳細版)>FormattingRules]]
- [[プラグインマニュアル>PukiWiki/1.4/Manual/Plugin]]