Yearly Archives: 2019


研究室旅行2019

今年の研究室旅行は,8月23日~24日の2日間,兵庫県に行きました. 1日目は,たじま高原植物園を散策した後に兵庫県立木の殿堂を訪問し,スイカ割りを楽しみました.夕方には湯村温泉の「朝野家」到着して,温泉街を散策しました.2日目は城崎温泉で […]


日本機械学会2019年度年次大会

9月8日~11日まで「日本機械学会2019年度年次大会」が秋田大学で開催されます.本研究室からは以下の発表を行います. J22309P ◎山崎友希, 平井義和, 土屋智由, 田畑修 並列引張試験デバイスを用いた単結晶シリコン疲労試験の繰り返 […]


日本実験力学会2019年度年次講演会

9月1日~3日まで「日本実験力学会2019年度年次講演会」が徳島大学で開催されます.本研究室からは以下のタイトルの発表を行います. ◎土屋智由, 張文磊, 平井義和, 田畑修 SCREAMプロセスで作製した単結晶シリコンマイクロミラーの共振 […]


X線一分子動態計測用観測チャンバの開発

X線一分子動態計測法は,標的イオンチャネルに修飾した金ナノ結晶に白色X線を照射し,金ナノ結晶からのX線回折点の運動を動画計測することで,イオンチャネルの動的構造変化を計測する手法です.従来の観測チャンバでは回折点観察像上の大きなバックグラウ […]


振動型ミラーに用いる単結晶シリコン梁のねじり強度の加工プロセス依存性評価

MEMSミラーデバイスは主にSOIウエハとバルクシリコンウエハの2種類から作製され,製法によりデバイスの形状やコストの点に違いがあります.本研究では,2種類のウエハからそれぞれミラーデバイスを作製し,初期強度や疲労寿命を測定することで,ミラ […]