シリコン三次元構造を応用したMEMS原子時計用アルカリ金属ガスセルの開発


小型原子時計CSAC(Chip Scale Atomic Clock)は IoT社会において時刻同期端末としての利用が期待されており,更なる高性能化が求められています.当研究室ではCSACの高性能化に向け,重要な構成要素の一つであるガスセルの新たな作製手法を提案しています.本研究ではアルカリ金属アジ化物の熱分解を促進するアルカリ金属生成源の開発を行い,それを用いたガスセルの作製を行っています.

【応用先】

  • CSAC,原子磁気センサ,ジャイロセンサ

[Publications]

-Yoshikazu Hirai, et al. “Alkali Metal Dispenser Utilizing Scalloped Silicon Groove for  Microfabricated Vapor Cells.” International Frequency Control Symposium (IFCS), 2018. IEEE,  2018.

-Katsuo Nakamura, et al. “Microfabrication of Alkali Vapor Cells with Lower the Outgassing and Temperature Utilizing Silicon 3D Structure.” Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2019 32nd International Conference on. IEEE, 2019.