ねじり梁型MEMSミラーはレーザーの反射角度を連続的に変化させることで空間を走査を実現するデバイスです．近年では車載用測距センサ用に用いられることもあり，高速・大走査角という条件下での信頼性の向上が求められます．本研究ではミラーの小型化及びアレイ配置により高速・大走査角駆動を実現し，シリコンナノワイヤ（SiNW）のトップダウン作製手法を用いて支持梁の細線化を行うことで構造の疲労を軽減したデバイスの設計・製作を行っています．
【応用先】
- レーザーディスプレイ
- 光学測距システム
【論文・学会発表】
- 中村友哉，平井義和，土屋智由，田畑修，“シリコンナノワイヤ製ねじれ梁を用いた静電櫛歯駆動MEMSミラーの作製”，日本機械学会第8回マイクロ・ナノ工学シンポジウム，2017年10月