眼底検査の検査光は眼球の歪み等により波面収差を持つため，リアルタイムかつ精密に補正する必要があり，その手法として，変形させたミラー面に光を反射させて補正する可変形状ミラーが注目されています．当研究室では，ミラーの凸変形および低電圧駆動を実現する新しい構造を提案し，本研究では，その構造の作製プロセスの確立，ミラー形状のリアルタイム制御のための数理解析モデルによるデバイス構造の改善を行っています．
【応用先】
- 眼底検査における波面補償素子
- 天文観測
【発表】
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宇野 亜季子，V. K. Singh，平井 義和，土屋 智由，田畑 修，“駆動電極可動型MEMS静電可変形状ミラーの数理解析モデルの構築“，2015年度電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会，平成27年7月