厚膜ネガレジスト用3次元リソグラフィシミュレータ


nakamura_ja MEMSの加工技術として厚膜フォトレジストの3次元形状加工が注目されています.本研究では共同研究先であるドイツのフライブルグ大学のFlorianらにより提唱された加工手法に着目し,その手法を用いた際の加工形状について,実験パラメータを入力すれば加工形状を出力する3次元加工シミュレータの開発を行いました.

応用先

  • 投影露光装置による3次元立体加工
  • MEMS、マイクロ流体デバイス

[関連論文]nakamura2_ja

  • F. Larramendy, et al. “Microchannel-connected SU-8 honeycombs by single-step projection photolithography for positioning cells on silicon oxide nanopillar arrays.” Journal of Micromechanics and Microengineering 25.4 (2015):