シリコン振動子の動的局所応力測定
MEMSは振動環境下にさらされる工業製品に搭載されることがあり,工業製品の信頼性向上には,振動により内部のMEMSに生じる動的な応力を測定することが有用であると考えられます.本研究では時間分解顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン面外振動子に […]
MEMSは振動環境下にさらされる工業製品に搭載されることがあり,工業製品の信頼性向上には,振動により内部のMEMSに生じる動的な応力を測定することが有用であると考えられます.本研究では時間分解顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン面外振動子に […]
現在の創薬プロセスでは心臓や肝臓などの各種臓器に対する薬物のさまざまな副作用が問題となっています。そこで、ヒト多能性幹細胞(iPS細胞)から分化した組織をマイクロ流体デバイス内に培養し、人の体内でおこる現象をチップ上で再現します。 【応用先 […]
3軸加速度センサの感度をベクトル量で表す「マトリックス感度校正」が提案されています.本手法の実用化のためには複数個のセンサを並べて同時に測定する技術が必要です.本研究では測定の際に問題となる振動台の回転運動や各センサの取付位置関係の影響評価 […]
After synthesized, DO(DNA Origami) solution contains tons of single-stranded DNA, mis-folded DO as well as well-folded o […]
現在,多種多様なナノ材料で構成されるナノ機能構造の集積化によるMEMSの高機能化が期待されている.そのためのアプローチの一つとして,我々はナノ材料を配置したDNAオリガミをシリコン基板上にセルフアセンブルすることでMEMSにナノ機能構造を集 […]
MEMSの主な構造材料は,シリコン,シリコン化合物,金属薄膜などです. シリコンの機械的特性には温度依存性があることが知られていましたが,近年,寸法依存性があることも報告されており,その機械的特性の寸法依存性の評価が課題となっています.そこ […]
MEMSデバイスの構造材料として,半導体材料であるシリコンは広く用いられていますが,脆性材料であることからその機械的信頼性が課題となっています.マイクロ構造の引張試験,疲労試験などの試験手法の開発から測定,更にはさまざまな影響 (結晶異方性 […]
Adaptive optics (AO) is a significant device that corrects the wave front aberrations. This system is composed of a defo […]
近年,微細加工技術を用いて作製したマイクロ流路を,バイオ・医療分野に応用する研究が盛んに行われています.我々は,当研究室独自の3次元フォトリソグラフィ手法である「移動マスクUV露光法」を用いて作製したマイクロ流路を泌尿組織の癌診断に応用する […]
Siナノワイヤは機械的・電気的特性に優れ,これをナノスケール構造体要素として用いた幅広い応用デバイスが注目されています.これらのデバイスの実現と信頼性の向上のため,MEMS構造体への一括集積化技術とその機械特性評価をおこなっています. 【応 […]
We investigated the source of acceleration sensitivity in fabricated tuning fork gyroscope (TFG) by using in-plane and o […]