統計評価可能な測定数実現をめざし、カーボンナノチューブ（CNT）引張試験法を開発しています。CNTは極めて微小なため欠陥がその強度に大きく影響し、測定結果がばらつくことが予想されます。しかし、従来の測定法ではCNTを測定系に組み込む工程が困難で、その強度分布を得ることは極めて困難でした。そこで、我々は誘電泳動を用いてCNTを試験機に配置し、さらに無電解めっきでクランプする方法を提案しました。これにより、複数のMEMS引張試験デバイスに同時にCNTを組みつけることが可能となり、大量のCNTを引張試験できます。今後は引張試験を実施し、CNTの欠陥の強度への影響を定量的に評価します。
