電気等価回路を用いた静電櫛歯トランスデューサの解析

This entry was posted in Research Sensors on

静電容量型MEMSデバイスは機械構造・電気回路・電気機械変換器からなるシステムでありセンサや光スイッチ等に広く利用されている．これらの解析には複雑な連成解析を要する．そこでシステムを等価な回路で表現し，周辺回路を含めたデバイス全体を統合的に解析する電気等価回路に注目した． 　本研究では特に電気機械変換器である静電櫛歯トランスデューサを対象とし，電気等価回路の構築と実際のデバイスとの比較による解析の妥当性・有効性の実証を目指している．

47