第28回 マイクロエレクトロニクスシンポジウム

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エレクトロニクス実装学会(JIEP)・第28回マイクロエレクトロニクスシンポジウム(MES2018)秋季大会が9月6日(木)～7日(金)の2日間，大阪大学で開催されます．田畑研究室からは，以下の発表を行います．

センサ・MEMS -1
Si製アルカリ金属生成源を用いた小型原子時計用ガスセルプロセスの開発
◎木元雄一, 中村克夫, 平井義和, 土屋智由, 田畑修