第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム（学会HP）が浜松市で開催され，当研究室から平井助教が発表した論文が優秀技術論文賞を受賞しました．
受賞論文のタイトルと著者は以下の通りです．
本研究にご協力いただきました関係者の皆様に心からお礼申し上げます．
受賞論文
19pm2-T-3
シリコン3次元構造を用いた低温・ウェハレベルのアルカリ金属ガスセル作製法
木元雄一, 中村克生, 平井義和, 土屋智由, 田畑修
第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム（学会HP）が浜松市で開催され，当研究室から平井助教が発表した論文が優秀技術論文賞を受賞しました．
受賞論文のタイトルと著者は以下の通りです．
本研究にご協力いただきました関係者の皆様に心からお礼申し上げます．
受賞論文
19pm2-T-3
シリコン3次元構造を用いた低温・ウェハレベルのアルカリ金属ガスセル作製法
木元雄一, 中村克生, 平井義和, 土屋智由, 田畑修