シリコンナノワイヤ製ねじれ梁の寸法効果を利用した MEMSチルトミラーの高信頼化
ねじり梁型MEMSミラーはレーザーの反射角度を連続的に変化させることで空間を走査を実現するデバイスです．近年では車載用測距センサ用に用いられることもあり，高速・大走査角という条件下での信頼性の向上が求められます．本研究ではミラーの小型化及び […]
Yearly Archives: 2018
Geometrical compensation of (100) single-crystal silicon mode-matched vibratory ring gyroscope
MEMS gyroscopes for measuring rate or angle of rotation can be used to provide heading information for inertial navigati […]
単結晶シリコンねじり梁を用いた振動型ミラーの共振疲労試験
ねじり梁を用いた振動型MEMSミラーは，ねじり梁に支持されたミラーを振動させることでレーザー光などの空間走査を実現するデバイスです．プロジェクタや距離画像センサといった用途として期待されており，ねじり梁の信頼性の把握が求められています．本研 […]
顕微ラマン分光を用いたへき開面ナノギャップの温度差測定
真空ナノギャップ電極は通常の物質では困難な熱発電効率を飛躍的に向上し得るとして注目されているが、従来の方法で作製できるナノギャップ電極の対向面は平行平滑でなく、面積も小さい。そのため、発電量が小さいという問題が存在した。本研究では、MEMS […]
DNAオリガミモールドを用いた金ナノ粒子二量体の形状制御
DNAオリガミ技術によって作製したナノスケール構造体は，多様な分野への応用が期待されています．本研究では，DNAオリガミをモールドとして用い，その内部に修飾した金ナノ粒子を無電解めっきによって成長させることで，粒子構造やギャップ間隔，配列方 […]
静電型ピストンアレイ駆動MEMS可変形状ミラーの開発
眼底検査の際に発生する光学収差（光の波面の歪み）は撮像の解像度の低下の原因となるため、より高解像度な観察を行うために可変形状ミラーを用いた補償光学系が用いられます。一般に眼底検査に用いる可変形状ミラーには直径10ｍｍほどのミラー面の形状を最 […]
MEMS fabricated conformal electrodes for thermotunneling applications
We developed a microelectromechanical system (MEMS) to fabricate nanogap electrodes of uniform gap-size (~ 100 nm) acros […]
第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
10月30日（火）～11月1日（木）に札幌で開催される，第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウムの発表申込を開始しました（締切：5月28日（月）正午）．皆様からの積極的な投稿とご参加をお待ちしております．合わせて技術展示 […]
iCAN’18国内予選で第1位
4月22日（日）宮城県仙台市、スリーエム仙台市科学館にてiCAN’18国内予選が開催され，team TBT2（帯谷・霜降）が第1位を獲得しました．合わせて，6月23日から香港で開催される国際大会への出場を決めました． ●国内予選 […]
IFCS 2018
The 2018 IEEE International Frequency Control Symposium (IFCS 2018) (Conference HP) will be held in Olympic Valley, CA, […]
Emerging Technologies 2018
Prof. Tsuchiya will give a talk at Emerging Technologies 2018 (ETCMOS 2018) in Whistler, Canada, 9-11 May 2018. Toshiyuk […]
iCAN’18国内予選
MEMSを用いたアプリケーションを提案し，試作した成果を競う中学生・高校生・大学生の国際コンテストiCAN’18の国内予選が4月22日（日）に仙台市で開催されます．田畑研究室からはM1学生で構成される2チームが出場し，6月末の世 […]