国内学会

2023

5/25-27 第60回日本伝熱シンポジウム (福岡国際会議場)

5/25 H14 15:10-17:10 優秀プレゼンテーション賞セッション

H1401: トランスデューサ層パターニングによる周波数領域サーモリフレクタンス計測手法の高感度化
◯ 安倉 祐樹, BANERJEE Amit, 土屋 智由, 廣谷 潤 (京都大)

H1402: パリレン基板を用いたフレキシブル3ωセンサの作製と評価
◯ 山崎 瑠斗 (京都大), 松永 優希 (名古屋大), BANERJEE Amit, 土屋 智由, 廣谷 潤 (京

9/3-6 日本機械学会 2023年度 年次大会 (東京都立大学 南大沢キャンパス)

[J224p] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性
2023年9月6日(水) 13:00 ~ 14:30 G（8号館1階）

[J224p-16] 物理リザバーコンピューティングへの実装を目的とした表面弾性波位相変調デバイスの開発
〇井嶋 泰貴¹、Robert Claude Meffan¹、Amit Banerjee¹、廣谷 潤¹、土屋 智由¹ (1. 京都大学)

11/6-9 Future Technologies from Kumamoto (熊本・熊本城ホール)

第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
2023/11/6 17:40-19:10 6P5 ポスターセッションI

6P5-PS-34 高性能小型圧電ジャイロスコープのための単結晶ニオブ酸リチウム円筒振動子の開発
*森田 健司{1}, 土屋 智由{1}, 荒屋 和貴{2}, 今村 恒彦{2}, 谷内 雅紀{3}, {1}京都大学, {2}多摩川精機, {3}多摩川モバイル電装

2023/11/8　13:50-15:20 8P2ポスターセッションIII

8P2-PS-9 静電駆動単結晶シリコンMEMSミラーの1×2アレイ同期振動
*大木 幹也, バネルジー アミット, 廣谷 潤, 土屋 智由, 京都大学

第14回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」

2023/11/6 13:10～15:10 機械学会マイクロ・ナノ工学部門、情報・知能・精密機器部門との連携企画
「MEMSデバイスの最新研究と応用技術(慣性センサ)」

MEMS慣性センサのいまとこれから　-本企画への期待を込めて-
土屋智由　京都大学

2023/11/6 17:40-19:10 6P5 ポスターセッションI

6P5-PN-14トランスデューサ層パターニングによる周波数領域サーモリフレクタンス計測の測定感度の向上
安倉 祐樹*, Amit Banerjee, 土屋 智由, 廣谷 潤，京都大学

6P5-PN-51 高温耐性p/n型ドーパントを用いたカーボンナノチューブ薄膜pn接合ダイオード
松永 優希*[1], 内山 晴貴[1], 大町 遼[1], 廣谷 潤[2]， [1]名古屋大学, [2]京都大学

2023/11/7 13:45-15:15 7P2 ポスターセッションII

7P2-PN-50 熱拡散率の非線形温度特性を用いた一次元サーマルリザバーコンピューティングにおける駆動条件の検討武田 侑大*, Amit Banerjee, 土屋 智由, 廣谷 潤京都大学

2023/11/8　13:50-15:20 8P2ポスターセッションIII

8P2-PN-10 反射率温度依存性を用いたレーザー光反射強度計測による表面温度の非接触測定
村上 大志*[1], 土屋 智由[2], 霜降 真希[2], 三宅 修吾[1]，[1]神戸市立工業高等専門学校, [2]京都大学

第15回「集積化MEMSシンポジウム」

共振型加速度センサを一体化したMEMSリザバーコンピューティングによる人間行動認識
千賀美咲^＊，水本昂宏，Amit Banerjee，廣谷潤，土屋智由　（京都大学）

面取り矩形支持ばねを用いた(100)単結晶シリコンリング型振動ジャイロの理論解析
高橋　歩夢^＊，岡山修也，Amit Banerjee，廣谷潤，土屋智由（京都大学）

2022

6/7-8 令和4年度 電気学会E部門 総合研究会

マイクロマシン・センサシステム/ケミカルセンサ/バイオ・マイクロシステム 合同研究会
（会場A）　6月8日（水）　11:10〜12:30　テーマ「合同セッション2」
MSS-22-019 CHS-22-013 BMS-22-018 加工誤差への耐性を有する(100)単結晶シリコンリング型ジャイロの開発
岡山 修也, 廣谷 潤, Amit Banerjee, 土屋 智由（京都大学）

9/1-2 第59回炭素材料夏季セミナー

9月1日（木）　15:00〜16:20　学生ポスター発表
安倉祐樹（京都大学）
　P27「周波数領域サーモリフレクタンス法による熱物性計測手法の高精度化」

9/9-10 伝熱学会 関西支部　第１７回関西伝熱セミナー (京都)

真空ナノギャップを用いた熱電子発電実現に向けて
土屋　 智由 (京都大学)

9/11-14 日本機械学会 2022年度 年次大会 (富山大学)

[W221] 【部門発足10周年記念】マイクロ・ナノ工学の10年間と将来展望［マイクロ・ナノ工学部門企画］
9月13日(火) 13:00 ~14:30 Room 16（C22）

[W221-02] 部門20周年を予測する
土屋　 智由 (京都大学)

[J223] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性 Ⅰ
2022年9月14日(水) 09:00 ~ 10:00 Room 8（B21）

[J223-01] 半導体へき開面ナノギャップにおける電界電子放出特性のギャップ間隔依存性の数値計算による評価
〇安倉 祐樹¹、霜降 真希¹、Banerjee Amit¹、廣谷 潤^1,2、土屋 智由¹ (1.京都大学、2.JSTさきがけ)

[J223] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性 Ⅱ
2022年9月14日(水) 11:30 ~ 12:30 Room 8（B21）

[J223-08] 熱膨張アクチュエータによる変調機構を備えた環状結合非線形振動子群によるMEMSリザバーコンピューティング
〇武田 侑大¹、水本 昂宏¹、竹村 拓樹¹、Banerjee Amit¹、廣谷 潤¹、土屋 智由¹ (1.京都大学)

[J223p] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性
2022年9月14日(水) 10:00 ~ 11:30 L

[J223p-05] 単結晶ニオブ酸リチウムを用いた円筒形圧電振動ジャイロスコープによる角速度検出
〇森田 健司¹、土屋 智由¹、荒屋 和貴²、今村 恒彦²、谷内 雅紀³ (1.京都大学、2.多摩川精機株式会社、3.多摩川モバイル電装株式会社)

[J223p-06] ガスセンサ用シリコンナノ共振器のアンカーロスの低減
〇王原 悠真¹、Banerjee Amit¹、廣谷 潤¹、土屋 智由¹ (1.京都大学)

11/14-16 Future Technologies from Tokushima (徳島・アスティとくしま)

第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

11月16日10:10-11:25 16A2-M バイオマイクロナノシステム

16A2-M-1 高精度な経上皮電気抵抗計測のためのトポロジー最適化による電極設計
*合田 晴紀¹, 石田 尚之¹, 古田 幸三¹, 泉井 一浩¹, Van KeulenFred², 亀井 謙一郎¹, 土屋 智由¹, 田畑 修³, 平井 義和¹ (1京都大学, 2Delft University of Technology,3京都先端科学大学)

第13回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」

11 ⽉14 ⽇（⽉） 17:30-19:00 14P5-P ポスターセッションI

14P3-PN-20: 熱伝導率の非線形温度特性を利用したサーマルリザバーコンピューティング
武田 侑大*, 水本 昂宏, Banerjee Amit, 土屋 智由, 廣谷潤 (京都大学)

11 ⽉15 ⽇（⽕） 13:40-15:10 15P2-P ポスターセッションII

15P2-PN-17 同期振動実現に向けたMEMSチルトミラーアレイの設計
大木 幹也*, 中村 友哉, Banerjee Amit, 廣谷 潤, 土屋 智由 (京都大学)

15P2-PN-55 レーザー光反射強度計測によるジュール加熱に伴うアルミ配線膜表面温度の非接触測定
村上 大志*[1], 土屋 智由[2], 三宅 修吾[1] ([1]神戸市立工業高等専門学校, [2]京都大学)

11 ⽉16 ⽇（⽔） 12:50-14:20 16P2-P ポスターセッションIII

16P2-PN-16 パルス電圧印加を用いた間隔可変単結晶シリコンナノギャップの電子輸送特性計測
霜降 真希*, 廣谷 潤, Banerjee Amit, 土屋 智由 (京都大学)

第14回「集積化MEMSシンポジウム」

11月 14 日（月） 13:00~14:30 14 P3 C センサ・アクチュエータ・材料

14P3 C 1 知能化共振加速度センサの記憶容量と感度の関係
水本 昂宏,　Banerjee Amit,　廣谷　潤,　土屋 智由（京都大学）

2021

1/28 第11回集積化MEMS技術研究ワークショップ（オンライン）

MEMSを用いた単結晶シリコンへき開面ナノギャップ
霜降真希, 平井義和, 土屋智由（京都大学）　

3/16-19　応用物理学会春季学術講演会

3/18 15:45 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術
[18p-Z24-9] アルカリ金属生成用三次元構造を一括形成したMEMSガスセルの開発
〇(M)清瀬 俊¹, 平井 義和¹, 田畑修², 土屋 智由¹ (1.京大工, 2.京先端大工)

3/19 9:00 3.12 ナノ領域光科学･近接場光学
[19a-Z08-1] カシミール-リフシッツ力が支配する単結晶シリコンナノギャップの最小空隙
〇(D)霜降 真希¹, 平井 義和¹, 土屋 智由¹ (1.京大工)

3/19 16:45 FS.1 フォーカストセッション「AIエレクトロニクス」
[19p-Z34-13]　周波数変調型加速度センサを用いたMEMSリザバーコンピューティング
〇(B)水本 昂宏¹, 平井 義和¹, 土屋 智由¹ (1.京大工)

5/17-18 化学とマイクロ･ナノシステム学会 第43回研究会（CHEMINAS43）

(5月17日) 14:50-16:50 ポスターセッション1
1P-06 心臓拍動を模倣した圧力刺激印加による肝オルガノイド成熟化を目指すマイクロ流体デバイス
三浦大知¹，平井義和¹，亀井謙一郎²，土屋智由¹ (1京 大院・工，2京大高等研究院物質－細胞統合システム拠点)

9/5-8 機械学会年次大会(Online)

J223 マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性 I
2021年9月7日(火) 09:15 ~ 10:30 Room 18

[J223-01] 単結晶シリコンへき開面ナノギャップ間の熱電界電子トンネリング計測
〇霜降 真希¹、吉村 光葵¹、文 和彦¹、平井 義和¹、Banerjee Amit¹、土屋 智由¹ (1.京都大学)

[J223-02] a-C:H交互多層膜を被覆したSi微小構造体の引張強度特性
〇夏 園林¹、平井 義和¹、土屋 智由¹ (1.京都大学)

J223 マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性 II
2021年9月7日(火) 10:45 ~ 12:00 Room 18

[J223-06] 単結晶シリコンねじり振動子の強度に及ぼす梁加工プロセスの影響評価
鈴木 誠¹、薛 沛東¹、平井 義和¹、〇土屋 智由¹ (1.京都大学)

11/9-11 Future Technologies from Himeji (Online)

第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

11 月 9 日（火） 10:50-12:20 9A3-SS3 フィジカルセンサ
9A3-SS3-3 リング型振動ジャイロスコープにおける静電チューニングのワイングラスモード回転への影響評価
岡山 修也 *, 平井 義和 , バネルジー アミット , 土屋 智由
京都大学

11 月 10 日（水） 13:00 14:30 10P2-SS1 ファイナリストセッション 4
10P2-SS1-2 GUT LIVER ON A CHIP WIT H CONTROLLABLE FLOW PERFUSION VIA MULTILAYERED MICROFLUIDIC DEVICE
楊 建東 *{1}, 今村 聡 {1}, 平井 義和 {1}, 亀井 謙一郎 {1}, 土屋 智由 {1}, 田畑 修 {1}
{1}京都大学 , {2} 京都先端科学大学

11 月 10 日（水）13:00-14:30 10P2-SS2 設計・製作技術，材料 2
10P2-SS2-5 イオン液体エレクトロスプレースラスタのための二段電極構造の作製
西邑 亜香音 {1}, 鷹尾 祥典 {2}, 土屋 智由 {1}
{1}京都大学 , {2} 横浜国立大学

11 月 10 日（水） 13:00-14:30 10P2-SS-3 センサ・アクチュエータシステム
10P2-SS3-6 MEMS振動子アレイの動的応答を利用した時系列信号処理
竹村 拓樹 *, 平井 義和 , Banerjee Amit, 土屋 智由
京都大学

第12回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」

11 月 11 日（木) 13:00-14:30 11P2-MN1オンデマンドセッション 3
11P2-MN1-10 単結晶ニオブ酸リチウムを用いたディスク型圧電振動ジャイロのFTR 制御
銭 進 *{1}, 荒屋 和貴 {2}, 谷内 雅紀 {3}, 土屋 智由 {1} {1}京都大学 , {2} 多摩川精機 , {3} 多摩川モバイル電装

第13回「集積化MEMSシンポジウム」

11月 10 日（水) 9:55-11:25 10A3-AP 加速度センサ・振動計測・リザバーコンピューティング
10A3-AP-5 周波数変調型加速度センサを用いたMEMS リザバ ーコンピューティング
水本 昂宏 *, 平井 義和 , 土屋 智由, 京都大学

2020

9/1　電気学会基礎・材料・共通部門大会

企画セッション：スマート社会・ライフサイエンス応用に向けたセンサ・マイクロマシンの研究動向
1-A-p1-5 【招待講演】圧電ディスク型ニオブ酸リチウム振動ジャイロスコープ
○土屋智由(京都大学), 荒屋和貴(多摩川精機), 谷内雅紀(多摩川モバイル電装)

9/8,9　応用物理学会秋季講演会

9/8 22.1 合同セッションM 「フォノンエンジニアリング」
[8a-Z09-9] 単結晶シリコン(111)へき開面ナノギャップ間の熱輸送測定
〇(D)霜降 真希¹、平井 義和¹、土屋 智由¹ (1.京大工)

9/9　17 ナノカーボン » 17.2 グラフェン
[9p-Z29-5] Electrical characterization of suspended graphene nanoribbons fabricated by b-HF free process
〇AMIT BANERJEE¹、Osazuwa Agbonlahor¹、Manoharan Muruganathan¹、Hiroshi Mizuta¹ (1.JAIST)

9/15 機械学会年次大会(Online)

J223 マイクロ・ナノ機械の信頼性
J22309 Al/Ni 発熱多層膜を用いた真空封止技術におけるMEMS 振動子による真空度評価
　◯松本 有紀子（京都大），児玉 健太（KUAS），生津 資大，土屋 智由（京都大）
J22316 静電駆動MEMS デバイスを用いた単結晶シリコンへき開面ナノギャップの熱輸送間隔依存性計測
　◯霜降 真希（京都大），平井 義和，土屋 智由
J22317 単結晶シリコンの真空中へき開によるナノギャップ創成とその清浄破断面間の電界電子放出測定
　◯文 和彦（京都大），霜降 真希，平井 義和，土屋 智由
J22318 単結晶シリコンのへき開破壊を用いた真空ナノギャップ間の熱電子放出測定用デバイスの作製
　◯吉村 光葵（京都大），土屋 智由，平井 義和

9/17-18 第30回 マイクロエレクトロニクスシンポジウム(MES2020)
(パナソニックリゾート大阪、Online)

9/18 先端実装技術
13:40 2B4-3電流密度解析を用いた経上皮電気抵抗計測用微小電極アレイの設計
宮崎貴史. 平井義和, 亀井謙一郎, 土屋智由(京都大学), 田畑修(京都先端科学大学)

10/26-28 Future Technologies from Kumamoto (Online)

第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

10/27 10:10~11:40 マイクロナノシステム1
27A2-SS2-4 イオン液体エレクトロスプレースラスタの二段電極作製に向けたガラス貫通加工の検討
西邑 亜香音*¹, 鷹尾 祥典², 土屋 智由¹ 1 京都大学, 2 横浜国立大学

10/27 12:50~14:20 ファイナリストセッション 4
27P2-SS1-3 経上皮電気抵抗測定の高精度化に向けたOrgans-on-a-Chipの設計法
宮崎 貴史*¹, 平井 義和¹, 亀井 謙一郎¹, 土屋智由¹, 田畑 修^1,2 1 京都大学, 2 京都先端科学大学

10/27 14:30~16:00 ポスターセッション
27P3-SSP-10 Si/COP水蒸気プラズマ接合によるMEMS・マイクロ流路一体化デバイス
竹村 拓樹*, 平井 義和, 土屋 智由 京都大学

10/27 16:10-18:20 FT合同招待セッション
27P4-FT-1DNAオリガミを利用したSERS分析用金ナノ粒子二量体の形成とその固定化技術
山下直輝 京都大学

第11回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」

10/26 13:05~14:05 医療・バイオ 1
26P2-MN1-2 細胞外電位計測を目的としたパリレン製微小電極アレイのボディ・オン・チップへの集積
張 東暁, 平井 義和*, 亀井 謙一郎, 田畑 修, 土屋 智由 京都大学

化学とマイクロ・ナノシステム学会 第42回研究会（Cheminas42）

10/27 10:10~11:40 セッション2
2P20 非アルコール性脂肪性肝疾患を再現する肝臓-小腸・オン・チップ
○亀井 謙一郎¹, 楊 建東¹, 飯田 慶¹, 寺田 志穂¹, 土屋 智由¹, 田畑 修², 平井 義和¹ 1 京都大学, 2 京都先端科学大学

11/20 第31回プラズマエレクトロニクス講習会

プラズマプロセスにより作製するMEMSデバイスの最近の動向
京都大学 土屋 智由