EBDeposition の履歴(No.69)

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• EBDeposition へ行く。
  • 1 (2014-01-05 (日) 15:07:51)
  • 2 (2014-01-05 (日) 15:08:32)
  • 3 (2014-01-22 (水) 14:50:25)
  • 4 (2014-02-11 (火) 17:25:03)
  • 5 (2014-04-10 (木) 12:42:44)
  • 6 (2014-04-21 (月) 16:04:49)
  • 7 (2014-06-04 (水) 15:41:34)
  • 8 (2014-06-04 (水) 15:43:15)
  • 9 (2014-06-30 (月) 18:09:00)
  • 10 (2014-08-05 (火) 14:30:40)
  • 11 (2014-10-02 (木) 16:36:52)
  • 12 (2014-10-28 (火) 09:20:19)
  • 13 (2014-11-26 (水) 16:34:44)
  • 14 (2014-12-05 (金) 12:10:06)
  • 15 (2015-02-13 (金) 16:06:18)
  • 16 (2015-04-03 (金) 11:27:45)
  • 17 (2015-04-15 (水) 16:00:00)
  • 18 (2015-04-16 (木) 17:17:51)
  • 19 (2015-07-13 (月) 11:20:50)
  • 20 (2015-07-14 (火) 18:35:42)
  • 21 (2015-08-24 (月) 18:41:42)
  • 22 (2015-12-15 (火) 10:13:41)
  • 23 (2016-01-06 (水) 14:01:33)
  • 24 (2016-04-01 (金) 11:12:27)
  • 25 (2016-05-27 (金) 19:01:24)
  • 26 (2016-09-13 (火) 11:14:13)
  • 27 (2016-11-15 (火) 09:38:05)
  • 28 (2016-11-15 (火) 17:23:36)
  • 29 (2017-02-03 (金) 18:48:39)
  • 30 (2017-03-28 (火) 11:21:00)
  • 31 (2017-09-25 (月) 22:49:02)
  • 32 (2018-01-09 (火) 15:27:58)
  • 33 (2018-03-23 (金) 15:08:31)
  • 34 (2018-04-27 (金) 13:59:27)
  • 35 (2018-07-10 (火) 10:22:09)
  • 36 (2018-09-03 (月) 11:47:55)
  • 37 (2018-09-18 (火) 19:17:04)
  • 38 (2018-12-04 (火) 14:13:52)
  • 39 (2019-04-08 (月) 17:22:40)
  • 40 (2019-05-14 (火) 14:48:29)
  • 41 (2019-06-13 (木) 18:21:08)
  • 42 (2019-10-06 (日) 20:13:45)
  • 43 (2019-11-06 (水) 16:57:02)
  • 44 (2020-02-23 (日) 17:00:55)
  • 45 (2020-04-16 (木) 21:34:05)
  • 46 (2020-07-30 (木) 02:28:29)
  • 47 (2020-09-17 (木) 17:31:16)
  • 48 (2020-09-17 (木) 17:32:36)
  • 49 (2021-03-09 (火) 19:48:10)
  • 50 (2021-03-09 (火) 19:48:10)
  • 51 (2021-05-09 (日) 05:03:25)
  • 52 (2021-05-10 (月) 19:18:02)
  • 53 (2021-06-11 (金) 23:03:34)
  • 54 (2021-08-30 (月) 18:02:01)
  • 55 (2021-10-28 (木) 04:13:35)
  • 56 (2021-12-28 (火) 20:41:34)
  • 57 (2022-01-18 (火) 01:23:46)
  • 58 (2022-03-31 (木) 01:53:05)
  • 59 (2022-05-13 (金) 02:11:34)
  • 60 (2022-09-14 (水) 00:28:21)
  • 61 (2022-09-27 (火) 19:04:47)
  • 62 (2022-10-21 (金) 18:51:33)
  • 63 (2022-10-27 (木) 01:42:38)
  • 64 (2022-11-11 (金) 02:38:57)
  • 65 (2023-06-09 (金) 20:41:47)
  • 66 (2023-07-07 (金) 08:47:04)
  • 67 (2023-09-13 (水) 17:00:05)
  • 68 (2023-10-31 (火) 11:54:36)
  • 69 (2024-03-15 (金) 10:37:16)
  • 70 (2024-03-21 (木) 14:30:44)
  • 71 (2024-09-10 (火) 13:36:03)
  • 72 (2024-09-24 (火) 13:25:58)
  • 73 (2024-10-10 (木) 11:28:06)
  • 74 (2025-01-23 (木) 16:44:23)
  • 75 (2025-03-24 (月) 16:10:09)
  • 76 (2025-06-12 (木) 17:15:17)
  • 77 (2025-10-08 (水) 15:30:38)
  • 78 (2025-10-09 (木) 08:34:12)
  • 79 (2025-10-10 (金) 10:11:15)
  • 80 (2025-10-22 (水) 14:58:16)
  • 81 (2025-12-10 (水) 14:50:08)
  • 82 (2025-12-22 (月) 17:15:40)

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mechCRwiki

EB蒸着装置†

Yashima Custom made

Specification 仕様†

• up to 4inch Wafer 4インチウエハまで
• 4 source boats (Au, Cr, Ti, Pt, Al, etc.)

Procedure 利用方法†

Operation Training†

1. Contact Prof. Tsuchiya (tutti@me.kyoto-u.ac.jp) to get a permission of usage.
2. Get operation training.
3. After operation training, e-mail to Prof. Tsuchiya and Ms. K. Kawano.

On Use†

1. Book the machine through Website.
2. Use it!

Super Users†

See SuperUsers Page!

Approved Users†

★土屋研究室
土屋 智由（教員）
廣谷 潤（教員）
Amit Banerjee（教員）
Claude Meffan (PD)
霜降 真希（D3）
Yu Wei(D3)
王原 悠馬（M2）
大木 幹也（M2）
安倉 祐樹（M2）
井嶋 泰貴（M1）
鈴木 翼（M1）
川口 修大（M1）
高橋 歩夢（M1）
松田 駿一郎（B4）
平田 一真（B4）

★江利口研究室
朝本 雄也(D2)
郷矢 崇浩(D2)
両角　潤樹(D1)
服部 達哉(M2)
岡田 晟良（M1）
加藤 寛大（M1）
辻井 駿佑(M1)
小口 尚輝（B4）

★平山研究室
山下 直輝（教員)

Manual†

• 装置マニュアル EB_Depo_manual200801.pdf
• 膜厚計マニュアル EB_thick_monitor.pdf

Machine Administrator†

Toshiyuki Tsuchiya

Photo†