ParyleneCoater の履歴(No.6)

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• ParyleneCoater へ行く。
  • 1 (2014-01-02 (木) 11:28:24)
  • 2 (2014-01-05 (日) 16:56:13)
  • 3 (2014-01-05 (日) 20:23:44)
  • 4 (2014-04-10 (木) 12:58:33)
  • 5 (2014-04-21 (月) 15:59:31)
  • 6 (2014-04-22 (火) 11:50:06)
  • 7 (2015-12-15 (火) 10:14:38)
  • 8 (2016-04-01 (金) 11:13:52)
  • 9 (2016-11-15 (火) 17:21:19)
  • 10 (2017-03-28 (火) 11:21:19)
  • 11 (2018-07-10 (火) 10:23:00)
  • 12 (2018-09-13 (木) 19:11:10)
  • 13 (2019-10-06 (日) 20:13:46)
  • 14 (2019-11-06 (水) 16:57:19)
  • 15 (2020-02-23 (日) 17:02:21)
  • 16 (2020-04-08 (水) 00:54:37)
  • 17 (2021-03-09 (火) 19:48:28)
  • 18 (2021-05-09 (日) 05:03:27)
  • 19 (2022-12-03 (土) 01:20:16)
  • 20 (2023-06-28 (水) 01:40:21)
  • 21 (2023-07-27 (木) 17:21:20)
  • 22 (2024-09-10 (火) 13:35:37)

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mechCRwiki

[B51] パリレンコーター

日本パリレン Labcoater PDS-2010
Nano-Platform Machine

Specification 仕様

蒸着室有効面積	0.032m^3
最大ダイマー	150g
原料ダイマー	DPXC,DPXN
対象ウエハ	4インチ以内

Procedure 利用方法

Operation Training

1. Contact Dr. Shintaku to get a permission of usage.
2. After approval from Dr.Shintaku, get operation training from a super user.
3. After operation training, e-mail to Dr.Shintaku and Ms. K. Kawano.

Reservation

1. Book the machine through Website.
2. Prepare nanohub reservation form and send it to nanohub office through your supervisor (or contacting person).
3. Use the machine.
4. After usage, sign to the confirmation form.

Super Users

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Approved Users

★小寺研究室
新宅 博文（教員）

★田畑研究室
平井 義和（教員）
西田 将志（共同研究員）

★ナノプラ
河野 恵子（研究員）

Machine Administrator

Ryuji Yokokawa

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