EBDeposition の履歴(No.5)

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• EBDeposition へ行く。
  • 1 (2014-01-05 (日) 15:07:51)
  • 2 (2014-01-05 (日) 15:08:32)
  • 3 (2014-01-22 (水) 14:50:25)
  • 4 (2014-02-11 (火) 17:25:03)
  • 5 (2014-04-10 (木) 12:42:44)
  • 6 (2014-04-21 (月) 16:04:49)
  • 7 (2014-06-04 (水) 15:41:34)
  • 8 (2014-06-04 (水) 15:43:15)
  • 9 (2014-06-30 (月) 18:09:00)
  • 10 (2014-08-05 (火) 14:30:40)
  • 11 (2014-10-02 (木) 16:36:52)
  • 12 (2014-10-28 (火) 09:20:19)
  • 13 (2014-11-26 (水) 16:34:44)
  • 14 (2014-12-05 (金) 12:10:06)
  • 15 (2015-02-13 (金) 16:06:18)
  • 16 (2015-04-03 (金) 11:27:45)
  • 17 (2015-04-15 (水) 16:00:00)
  • 18 (2015-04-16 (木) 17:17:51)
  • 19 (2015-07-13 (月) 11:20:50)
  • 20 (2015-07-14 (火) 18:35:42)
  • 21 (2015-08-24 (月) 18:41:42)
  • 22 (2015-12-15 (火) 10:13:41)
  • 23 (2016-01-06 (水) 14:01:33)
  • 24 (2016-04-01 (金) 11:12:27)
  • 25 (2016-05-27 (金) 19:01:24)
  • 26 (2016-09-13 (火) 11:14:13)
  • 27 (2016-11-15 (火) 09:38:05)
  • 28 (2016-11-15 (火) 17:23:36)
  • 29 (2017-02-03 (金) 18:48:39)
  • 30 (2017-03-28 (火) 11:21:00)
  • 31 (2017-09-25 (月) 22:49:02)
  • 32 (2018-01-09 (火) 15:27:58)
  • 33 (2018-03-23 (金) 15:08:31)
  • 34 (2018-04-27 (金) 13:59:27)
  • 35 (2018-07-10 (火) 10:22:09)
  • 36 (2018-09-03 (月) 11:47:55)
  • 37 (2018-09-18 (火) 19:17:04)
  • 38 (2018-12-04 (火) 14:13:52)
  • 39 (2019-04-08 (月) 17:22:40)
  • 40 (2019-05-14 (火) 14:48:29)
  • 41 (2019-06-13 (木) 18:21:08)
  • 42 (2019-10-06 (日) 20:13:45)
  • 43 (2019-11-06 (水) 16:57:02)
  • 44 (2020-02-23 (日) 17:00:55)
  • 45 (2020-04-16 (木) 21:34:05)
  • 46 (2020-07-30 (木) 02:28:29)
  • 47 (2020-09-17 (木) 17:31:16)
  • 48 (2020-09-17 (木) 17:32:36)
  • 49 (2021-03-09 (火) 19:48:10)
  • 50 (2021-03-09 (火) 19:48:10)
  • 51 (2021-05-09 (日) 05:03:25)
  • 52 (2021-05-10 (月) 19:18:02)
  • 53 (2021-06-11 (金) 23:03:34)
  • 54 (2021-08-30 (月) 18:02:01)
  • 55 (2021-10-28 (木) 04:13:35)
  • 56 (2021-12-28 (火) 20:41:34)
  • 57 (2022-01-18 (火) 01:23:46)
  • 58 (2022-03-31 (木) 01:53:05)
  • 59 (2022-05-13 (金) 02:11:34)
  • 60 (2022-09-14 (水) 00:28:21)
  • 61 (2022-09-27 (火) 19:04:47)
  • 62 (2022-10-21 (金) 18:51:33)
  • 63 (2022-10-27 (木) 01:42:38)
  • 64 (2022-11-11 (金) 02:38:57)
  • 65 (2023-06-09 (金) 20:41:47)
  • 66 (2023-07-07 (金) 08:47:04)
  • 67 (2023-09-13 (水) 17:00:05)
  • 68 (2023-10-31 (火) 11:54:36)
  • 69 (2024-03-15 (金) 10:37:16)
  • 70 (2024-03-21 (木) 14:30:44)
  • 71 (2024-09-10 (火) 13:36:03)
  • 72 (2024-09-24 (火) 13:25:58)
  • 73 (2024-10-10 (木) 11:28:06)
  • 74 (2025-01-23 (木) 16:44:23)
  • 75 (2025-03-24 (月) 16:10:09)
  • 76 (2025-06-12 (木) 17:15:17)
  • 77 (2025-10-08 (水) 15:30:38)
  • 78 (2025-10-09 (木) 08:34:12)
  • 79 (2025-10-10 (金) 10:11:15)
  • 80 (2025-10-22 (水) 14:58:16)
  • 81 (2025-12-10 (水) 14:50:08)
  • 82 (2025-12-22 (月) 17:15:40)

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mechCRwiki

EB蒸着装置

Yashima Custom made

Specification 仕様

• up to 4inch Wafer 4インチウエハまで
• 4 source boats (Au, Cr, Ti, Pt, Al, etc.)

Procedure 利用方法

Operation Training

1. Contact Prof. Tsuchiya (tutti@me.kyoto-u.ac.jp) to get a permission of usage.
2. Get operation training.
3. After operation training, e-mail to Prof. Tsuchiya and Ms. K. Kawano.

On Use

1. Book the machine through Website.
2. Use it!

Super Users

See SuperUsers Page!

Approved Users

Singh Vijay Kumar(田畑研）
小北 雄亮（田畑研）
鈴木 淳也（田畑研）
外薗 洸佑 (田畑研）

Manual

Machine Administrator

Toshiyuki Tsuchiya

Photo