EBDeposition の履歴(No.35)

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• EBDeposition へ行く。
  • 1 (2014-01-05 (日) 15:07:51)
  • 2 (2014-01-05 (日) 15:08:32)
  • 3 (2014-01-22 (水) 14:50:25)
  • 4 (2014-02-11 (火) 17:25:03)
  • 5 (2014-04-10 (木) 12:42:44)
  • 6 (2014-04-21 (月) 16:04:49)
  • 7 (2014-06-04 (水) 15:41:34)
  • 8 (2014-06-04 (水) 15:43:15)
  • 9 (2014-06-30 (月) 18:09:00)
  • 10 (2014-08-05 (火) 14:30:40)
  • 11 (2014-10-02 (木) 16:36:52)
  • 12 (2014-10-28 (火) 09:20:19)
  • 13 (2014-11-26 (水) 16:34:44)
  • 14 (2014-12-05 (金) 12:10:06)
  • 15 (2015-02-13 (金) 16:06:18)
  • 16 (2015-04-03 (金) 11:27:45)
  • 17 (2015-04-15 (水) 16:00:00)
  • 18 (2015-04-16 (木) 17:17:51)
  • 19 (2015-07-13 (月) 11:20:50)
  • 20 (2015-07-14 (火) 18:35:42)
  • 21 (2015-08-24 (月) 18:41:42)
  • 22 (2015-12-15 (火) 10:13:41)
  • 23 (2016-01-06 (水) 14:01:33)
  • 24 (2016-04-01 (金) 11:12:27)
  • 25 (2016-05-27 (金) 19:01:24)
  • 26 (2016-09-13 (火) 11:14:13)
  • 27 (2016-11-15 (火) 09:38:05)
  • 28 (2016-11-15 (火) 17:23:36)
  • 29 (2017-02-03 (金) 18:48:39)
  • 30 (2017-03-28 (火) 11:21:00)
  • 31 (2017-09-25 (月) 22:49:02)
  • 32 (2018-01-09 (火) 15:27:58)
  • 33 (2018-03-23 (金) 15:08:31)
  • 34 (2018-04-27 (金) 13:59:27)
  • 35 (2018-07-10 (火) 10:22:09)
  • 36 (2018-09-03 (月) 11:47:55)
  • 37 (2018-09-18 (火) 19:17:04)
  • 38 (2018-12-04 (火) 14:13:52)
  • 39 (2019-04-08 (月) 17:22:40)
  • 40 (2019-05-14 (火) 14:48:29)
  • 41 (2019-06-13 (木) 18:21:08)
  • 42 (2019-10-06 (日) 20:13:45)
  • 43 (2019-11-06 (水) 16:57:02)
  • 44 (2020-02-23 (日) 17:00:55)
  • 45 (2020-04-16 (木) 21:34:05)
  • 46 (2020-07-30 (木) 02:28:29)
  • 47 (2020-09-17 (木) 17:31:16)
  • 48 (2020-09-17 (木) 17:32:36)
  • 49 (2021-03-09 (火) 19:48:10)
  • 50 (2021-03-09 (火) 19:48:10)
  • 51 (2021-05-09 (日) 05:03:25)
  • 52 (2021-05-10 (月) 19:18:02)
  • 53 (2021-06-11 (金) 23:03:34)
  • 54 (2021-08-30 (月) 18:02:01)
  • 55 (2021-10-28 (木) 04:13:35)
  • 56 (2021-12-28 (火) 20:41:34)
  • 57 (2022-01-18 (火) 01:23:46)
  • 58 (2022-03-31 (木) 01:53:05)
  • 59 (2022-05-13 (金) 02:11:34)
  • 60 (2022-09-14 (水) 00:28:21)
  • 61 (2022-09-27 (火) 19:04:47)
  • 62 (2022-10-21 (金) 18:51:33)
  • 63 (2022-10-27 (木) 01:42:38)
  • 64 (2022-11-11 (金) 02:38:57)
  • 65 (2023-06-09 (金) 20:41:47)
  • 66 (2023-07-07 (金) 08:47:04)
  • 67 (2023-09-13 (水) 17:00:05)
  • 68 (2023-10-31 (火) 11:54:36)
  • 69 (2024-03-15 (金) 10:37:16)
  • 70 (2024-03-21 (木) 14:30:44)
  • 71 (2024-09-10 (火) 13:36:03)
  • 72 (2024-09-24 (火) 13:25:58)
  • 73 (2024-10-10 (木) 11:28:06)
  • 74 (2025-01-23 (木) 16:44:23)
  • 75 (2025-03-24 (月) 16:10:09)
  • 76 (2025-06-12 (木) 17:15:17)
  • 77 (2025-10-08 (水) 15:30:38)
  • 78 (2025-10-09 (木) 08:34:12)
  • 79 (2025-10-10 (金) 10:11:15)
  • 80 (2025-10-22 (水) 14:58:16)
  • 81 (2025-12-10 (水) 14:50:08)
  • 82 (2025-12-22 (月) 17:15:40)

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mechCRwiki

EB蒸着装置

Yashima Custom made

Specification 仕様

• up to 4inch Wafer 4インチウエハまで
• 4 source boats (Au, Cr, Ti, Pt, Al, etc.)

Procedure 利用方法

Operation Training

1. Contact Prof. Tsuchiya (tutti@me.kyoto-u.ac.jp) to get a permission of usage.
2. Get operation training.
3. After operation training, e-mail to Prof. Tsuchiya and Ms. K. Kawano.

On Use

1. Book the machine through Website.
2. Use it!

Super Users

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Approved Users

★田畑研究室
土屋 智由（教員）
Amit Banerjee(PD）
山下 直輝（D3）
張 文磊 (Wenlei Zhang) (D3)
江間　稔起（M2）
帶谷　和敬（M1）
霜降　真希（M1）
山崎　友希（M1）

Manual

• 装置マニュアル &ref(): File not found: "EB_Depo_manual140108.pdf" at page "EBDeposition";
• 膜厚計マニュアル EB_thick_monitor.pdf

Machine Administrator

Toshiyuki Tsuchiya

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