RIE の履歴(No.31)

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• RIE へ行く。
  • 1 (2013-12-31 (火) 18:59:59)
  • 2 (2014-01-15 (水) 18:43:51)
  • 3 (2014-02-06 (木) 10:38:56)
  • 4 (2014-04-10 (木) 12:41:32)
  • 5 (2014-04-22 (火) 11:31:21)
  • 6 (2014-08-07 (木) 14:43:44)
  • 7 (2014-10-06 (月) 11:05:46)
  • 8 (2014-12-19 (金) 13:47:57)
  • 9 (2015-04-03 (金) 11:22:54)
  • 10 (2015-04-24 (金) 15:10:38)
  • 11 (2016-01-25 (月) 10:30:29)
  • 12 (2016-04-01 (金) 11:10:27)
  • 13 (2016-04-26 (火) 15:22:44)
  • 14 (2016-10-11 (火) 11:22:32)
  • 15 (2017-01-12 (木) 13:23:05)
  • 16 (2017-01-18 (水) 13:03:30)
  • 17 (2017-02-08 (水) 10:46:50)
  • 18 (2017-02-28 (火) 16:12:36)
  • 19 (2017-04-03 (月) 16:23:10)
  • 20 (2017-05-18 (木) 15:49:12)
  • 21 (2018-04-27 (金) 13:58:44)
  • 22 (2019-10-06 (日) 20:13:46)
  • 23 (2020-02-23 (日) 17:00:09)
  • 24 (2021-03-09 (火) 19:42:05)
  • 25 (2021-05-09 (日) 05:03:28)
  • 26 (2022-11-26 (土) 00:41:36)
  • 27 (2022-12-03 (土) 02:19:43)
  • 28 (2022-12-26 (月) 20:32:40)
  • 29 (2023-03-11 (土) 00:53:16)
  • 30 (2023-03-16 (木) 06:05:32)
  • 31 (2023-05-15 (月) 21:04:02)
  • 32 (2023-06-09 (金) 11:58:00)
  • 33 (2023-12-15 (金) 14:21:25)
  • 34 (2024-01-16 (火) 17:50:32)
  • 35 (2024-02-02 (金) 14:22:10)
  • 36 (2024-03-21 (木) 14:24:54)
  • 37 (2024-06-17 (月) 17:00:35)
  • 38 (2024-10-24 (木) 15:19:40)
  • 39 (2024-11-29 (金) 17:49:35)
  • 40 (2024-12-24 (火) 15:18:43)
  • 41 (2025-03-24 (月) 16:04:52)
  • 42 (2025-06-12 (木) 17:19:06)
  • 43 (2025-06-27 (金) 17:16:43)
  • 44 (2025-11-20 (木) 15:04:56)
  • 45 (2026-01-20 (火) 12:53:32)

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mechCRwiki

汎用RIE†

Samco 10NR

Specification 仕様†

Gas: O2, Ar, CF4

Technical Infomation†

SiO2 Etching†

SiN Etching using CHF3 (CHF3 is not available now).†

Procedure 利用方法†

Manual (To be updated)†

Operation Training†

1. Contact Prof. Tsuchiya (tutti@me.kyoto-u.ac.jp) to get a permission of usage.
2. Get operation training.
3. After operation training,e-mail to Prof. Tsuchiya and Ms. K. Kawano.

Reservation†

1. Book the machine through Website.
2. Use the machine.

Super Users†

Approved Users†

★土屋研究室
Meffan Robert Claude（PD）
井嶋 泰貴（B4）

★平井研究室
清瀬　俊（D3）
浅越 雄介（M1）
村上 諒（M1）

Machine Administrator†

Toshiyuki Tscuhiya

Photo†