MaintenanceDiary の履歴(No.3)

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  • 1 (2013-11-15 (金) 10:40:29)
  • 2 (2013-11-15 (金) 10:46:13)
  • 3 (2013-11-15 (金) 18:39:51)
  • 4 (2019-10-07 (月) 05:13:46)
  • 5 (2021-03-09 (火) 19:48:50)

mechCRwiki

2013-11-15†

ICP-RIEの調整をしました．
エッチングチャンバーのピラニゲージの調子が悪いのかもしれませんが，SF6で圧力をバラトロンで10Paにすると18Pa位になり*1，バルブをクローズしてしまうみたいです．
新コスモス電機の中谷さんの実験の対応で，ピラニゲージのSETPOINT-緑を少し上げてあります22Paくらい．終わったら15Pa位に戻したほうがいいかもしれない．

ICP-RIEの状況†

DRP2が調子が悪い．まともな方法では起動しないです．

1. 手順通りにE CHAMBERを起動
2. エラーが出るので鳴動を止める（DRP2はBEEPを続けている）
3. DRP2のブレーカーをいったんOFFし，0.5秒くらいでふたたびONにする
4. ALARM RESETして E CHAMBER起動でいけるはず．