CompactEtcher の履歴(No.26)

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  • 1 (2013-12-31 (火) 18:50:54)
  • 2 (2013-12-31 (火) 18:51:20)
  • 3 (2014-01-05 (日) 17:05:10)
  • 4 (2014-01-15 (水) 15:33:09)
  • 5 (2014-01-15 (水) 15:33:55)
  • 6 (2014-03-04 (火) 14:37:22)
  • 7 (2014-04-01 (火) 10:40:31)
  • 8 (2014-04-21 (月) 16:01:03)
  • 9 (2014-04-22 (火) 11:28:17)
  • 10 (2014-04-23 (水) 18:17:42)
  • 11 (2014-05-26 (月) 13:25:06)
  • 12 (2014-08-19 (火) 15:12:00)
  • 13 (2014-09-17 (水) 17:31:45)
  • 14 (2014-10-07 (火) 09:40:24)
  • 15 (2014-10-07 (火) 14:50:05)
  • 16 (2014-10-20 (月) 10:17:21)
  • 17 (2014-11-14 (金) 11:10:56)
  • 18 (2014-12-05 (金) 12:08:39)
  • 19 (2014-12-09 (火) 11:15:51)
  • 20 (2014-12-25 (木) 09:55:16)
  • 21 (2015-01-16 (金) 15:12:09)
  • 22 (2015-02-12 (木) 14:14:42)
  • 23 (2015-03-11 (水) 17:48:14)
  • 24 (2015-04-03 (金) 11:21:52)
  • 25 (2015-04-15 (水) 15:58:29)
  • 26 (2015-04-30 (木) 15:39:12)
  • 27 (2015-05-26 (火) 16:38:05)
  • 28 (2015-07-09 (木) 17:19:28)
  • 29 (2015-09-01 (火) 16:43:49)
  • 30 (2015-10-20 (火) 10:07:12)
  • 31 (2015-12-07 (月) 09:58:55)
  • 32 (2015-12-16 (水) 17:17:28)
  • 33 (2015-12-25 (金) 14:24:42)
  • 34 (2016-02-29 (月) 09:52:30)
  • 35 (2016-04-01 (金) 11:09:39)
  • 36 (2016-05-26 (木) 14:08:18)
  • 37 (2016-06-22 (水) 15:01:42)
  • 38 (2016-06-23 (木) 13:02:46)
  • 39 (2016-09-13 (火) 11:13:30)
  • 40 (2016-10-06 (木) 14:32:00)
  • 41 (2016-10-28 (金) 14:42:22)
  • 42 (2016-11-15 (火) 17:23:13)
  • 43 (2016-12-13 (火) 14:29:32)
  • 44 (2017-03-28 (火) 11:22:29)
  • 45 (2017-04-03 (月) 16:21:59)
  • 46 (2017-06-07 (水) 17:12:20)
  • 47 (2017-06-12 (月) 13:48:24)
  • 48 (2017-06-16 (金) 10:38:10)
  • 49 (2017-06-16 (金) 16:03:41)
  • 50 (2017-06-29 (木) 10:03:01)
  • 51 (2017-08-03 (木) 11:39:54)
  • 52 (2017-09-25 (月) 22:48:48)
  • 53 (2017-12-27 (水) 11:44:21)
  • 54 (2018-03-23 (金) 15:06:07)
  • 55 (2018-04-27 (金) 13:53:02)
  • 56 (2018-07-25 (水) 15:01:48)
  • 57 (2018-08-08 (水) 15:58:29)
  • 58 (2018-08-30 (木) 10:49:37)
  • 59 (2018-10-16 (火) 14:34:55)
  • 60 (2018-10-19 (金) 13:48:10)
  • 61 (2018-11-06 (火) 17:11:33)
  • 62 (2018-11-07 (水) 14:39:17)
  • 63 (2019-01-07 (月) 14:28:59)
  • 64 (2019-03-14 (木) 15:52:49)
  • 65 (2019-10-06 (日) 20:13:45)
  • 66 (2019-10-18 (金) 09:44:47)
  • 67 (2019-11-06 (水) 16:56:06)
  • 68 (2019-12-20 (金) 15:19:57)
  • 69 (2020-02-23 (日) 16:59:10)
  • 70 (2020-03-12 (木) 13:43:09)
  • 71 (2020-04-07 (火) 15:52:05)
  • 72 (2020-07-03 (金) 20:28:07)
  • 73 (2020-09-17 (木) 17:33:27)
  • 74 (2020-09-17 (木) 17:33:47)
  • 75 (2020-10-14 (水) 01:15:14)
  • 76 (2021-03-03 (水) 01:15:33)
  • 77 (2021-03-09 (火) 19:47:45)
  • 78 (2021-03-09 (火) 19:47:46)
  • 79 (2021-05-09 (日) 05:03:25)
  • 80 (2021-07-22 (木) 03:03:16)
  • 81 (2021-08-26 (木) 02:20:26)
  • 82 (2021-08-26 (木) 19:01:23)
  • 83 (2021-10-18 (月) 21:48:54)
  • 84 (2021-10-20 (水) 20:13:57)
  • 85 (2021-10-23 (土) 02:08:05)
  • 86 (2022-03-31 (木) 01:52:37)
  • 87 (2022-05-13 (金) 02:10:15)
  • 88 (2022-09-15 (木) 01:14:42)
  • 89 (2022-09-22 (木) 19:45:07)
  • 90 (2022-10-07 (金) 22:49:27)
  • 91 (2022-10-17 (月) 20:43:20)
  • 92 (2022-10-20 (木) 01:33:50)
  • 93 (2022-10-22 (土) 01:20:21)
  • 94 (2023-01-12 (木) 21:52:34)
  • 95 (2023-06-09 (金) 12:00:20)
  • 96 (2023-09-28 (木) 11:17:09)
  • 97 (2024-03-21 (木) 14:25:52)
  • 98 (2024-10-23 (水) 14:44:43)
  • 99 (2024-11-20 (水) 11:03:09)
  • 100 (2025-01-09 (木) 12:24:24)
  • 101 (2025-02-14 (金) 15:36:54)
  • 102 (2025-03-24 (月) 16:06:01)
  • 103 (2025-06-12 (木) 17:17:17)
  • 104 (2025-06-13 (金) 17:38:09)
  • 105 (2025-06-19 (木) 10:29:53)
  • 106 (2025-10-16 (木) 19:16:59)
  • 107 (2025-12-11 (木) 14:16:27)

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mechCRwiki

コンパクトエッチャー

Samco FA-1

Specification 仕様

試料サイズ	4インチまで
Etching GAS	CF4 O2
用途		・各種パッシベーション膜の除去
		・フォトレジストのアッシング
		・各種シリコン薄膜のエッチング
		・ガラス基板などの表面クリーニング

Procedure 利用方法

Operation Training

1. Contact Prof. Tsuchiya (tutti@me.kyoto-u.ac.jp) to get a permission of usage.
2. Get operation training.
3. After operation training, e-mail to Prof. Tsuchiya and Ms. K. Kawano.

On Use (for Mechanical Eng. Depts.)

1. Book the machine through Website. through your supervisor (or contacting person).
2. Use it!

On Use (for Other Depts.)

Nano-Platform Machine

1. Book the machine through Website.
2. Prepare nanohub reservation form and send it to nanohub office through your supervisor (or contacting person).
3. Use it!
4. After usage, sign to the confirmation form.

SuperUsers

See SuperUsers Page!

Approved Users

★中部研究室
巽 和也（教員）
森 秀輔(M2)
徐 季璇(M2)
鈴木 淳史（M1）
山本 裕亮(M1)

★田畑研究室
土屋 智由（教員）
平井 義和（教員）
Ma Zhipeng(D3)
Seongsu Park (M2)
邊見 哲也（M2）
中野　優（M2）
山本 祥貴（M1）
宇野 亜希子（M1）
大牧　達矢（M1）
小林　昂太（OA）
西田　将志（共同研究員）
川合　健太郎（CUPAL・阪大)

★小寺研究室
Subhathirai Subramaniyan（D3）
長尾 圭将（M2）
森田 有貴(M1)

Manual

#ref(): File not found: "コンパクトエッチャーマニュアル.doc" at page "CompactEtcher"

Machine Administrator

Toshiyuki Tsuchiya

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