CompactEtcher の履歴(No.2)

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  • 1 (2013-12-31 (火) 18:50:54)
  • 2 (2013-12-31 (火) 18:51:20)
  • 3 (2014-01-05 (日) 17:05:10)
  • 4 (2014-01-15 (水) 15:33:09)
  • 5 (2014-01-15 (水) 15:33:55)
  • 6 (2014-03-04 (火) 14:37:22)
  • 7 (2014-04-01 (火) 10:40:31)
  • 8 (2014-04-21 (月) 16:01:03)
  • 9 (2014-04-22 (火) 11:28:17)
  • 10 (2014-04-23 (水) 18:17:42)
  • 11 (2014-05-26 (月) 13:25:06)
  • 12 (2014-08-19 (火) 15:12:00)
  • 13 (2014-09-17 (水) 17:31:45)
  • 14 (2014-10-07 (火) 09:40:24)
  • 15 (2014-10-07 (火) 14:50:05)
  • 16 (2014-10-20 (月) 10:17:21)
  • 17 (2014-11-14 (金) 11:10:56)
  • 18 (2014-12-05 (金) 12:08:39)
  • 19 (2014-12-09 (火) 11:15:51)
  • 20 (2014-12-25 (木) 09:55:16)
  • 21 (2015-01-16 (金) 15:12:09)
  • 22 (2015-02-12 (木) 14:14:42)
  • 23 (2015-03-11 (水) 17:48:14)
  • 24 (2015-04-03 (金) 11:21:52)
  • 25 (2015-04-15 (水) 15:58:29)
  • 26 (2015-04-30 (木) 15:39:12)
  • 27 (2015-05-26 (火) 16:38:05)
  • 28 (2015-07-09 (木) 17:19:28)
  • 29 (2015-09-01 (火) 16:43:49)
  • 30 (2015-10-20 (火) 10:07:12)
  • 31 (2015-12-07 (月) 09:58:55)
  • 32 (2015-12-16 (水) 17:17:28)
  • 33 (2015-12-25 (金) 14:24:42)
  • 34 (2016-02-29 (月) 09:52:30)
  • 35 (2016-04-01 (金) 11:09:39)
  • 36 (2016-05-26 (木) 14:08:18)
  • 37 (2016-06-22 (水) 15:01:42)
  • 38 (2016-06-23 (木) 13:02:46)
  • 39 (2016-09-13 (火) 11:13:30)
  • 40 (2016-10-06 (木) 14:32:00)
  • 41 (2016-10-28 (金) 14:42:22)
  • 42 (2016-11-15 (火) 17:23:13)
  • 43 (2016-12-13 (火) 14:29:32)
  • 44 (2017-03-28 (火) 11:22:29)
  • 45 (2017-04-03 (月) 16:21:59)
  • 46 (2017-06-07 (水) 17:12:20)
  • 47 (2017-06-12 (月) 13:48:24)
  • 48 (2017-06-16 (金) 10:38:10)
  • 49 (2017-06-16 (金) 16:03:41)
  • 50 (2017-06-29 (木) 10:03:01)
  • 51 (2017-08-03 (木) 11:39:54)
  • 52 (2017-09-25 (月) 22:48:48)
  • 53 (2017-12-27 (水) 11:44:21)
  • 54 (2018-03-23 (金) 15:06:07)
  • 55 (2018-04-27 (金) 13:53:02)
  • 56 (2018-07-25 (水) 15:01:48)
  • 57 (2018-08-08 (水) 15:58:29)
  • 58 (2018-08-30 (木) 10:49:37)
  • 59 (2018-10-16 (火) 14:34:55)
  • 60 (2018-10-19 (金) 13:48:10)
  • 61 (2018-11-06 (火) 17:11:33)
  • 62 (2018-11-07 (水) 14:39:17)
  • 63 (2019-01-07 (月) 14:28:59)
  • 64 (2019-03-14 (木) 15:52:49)
  • 65 (2019-10-06 (日) 20:13:45)
  • 66 (2019-10-18 (金) 09:44:47)
  • 67 (2019-11-06 (水) 16:56:06)
  • 68 (2019-12-20 (金) 15:19:57)
  • 69 (2020-02-23 (日) 16:59:10)
  • 70 (2020-03-12 (木) 13:43:09)
  • 71 (2020-04-07 (火) 15:52:05)
  • 72 (2020-07-03 (金) 20:28:07)
  • 73 (2020-09-17 (木) 17:33:27)
  • 74 (2020-09-17 (木) 17:33:47)
  • 75 (2020-10-14 (水) 01:15:14)
  • 76 (2021-03-03 (水) 01:15:33)
  • 77 (2021-03-09 (火) 19:47:45)
  • 78 (2021-03-09 (火) 19:47:46)
  • 79 (2021-05-09 (日) 05:03:25)
  • 80 (2021-07-22 (木) 03:03:16)
  • 81 (2021-08-26 (木) 02:20:26)
  • 82 (2021-08-26 (木) 19:01:23)
  • 83 (2021-10-18 (月) 21:48:54)
  • 84 (2021-10-20 (水) 20:13:57)
  • 85 (2021-10-23 (土) 02:08:05)
  • 86 (2022-03-31 (木) 01:52:37)
  • 87 (2022-05-13 (金) 02:10:15)
  • 88 (2022-09-15 (木) 01:14:42)
  • 89 (2022-09-22 (木) 19:45:07)
  • 90 (2022-10-07 (金) 22:49:27)
  • 91 (2022-10-17 (月) 20:43:20)
  • 92 (2022-10-20 (木) 01:33:50)
  • 93 (2022-10-22 (土) 01:20:21)
  • 94 (2023-01-12 (木) 21:52:34)
  • 95 (2023-06-09 (金) 12:00:20)
  • 96 (2023-09-28 (木) 11:17:09)
  • 97 (2024-03-21 (木) 14:25:52)
  • 98 (2024-10-23 (水) 14:44:43)
  • 99 (2024-11-20 (水) 11:03:09)
  • 100 (2025-01-09 (木) 12:24:24)
  • 101 (2025-02-14 (金) 15:36:54)
  • 102 (2025-03-24 (月) 16:06:01)
  • 103 (2025-06-12 (木) 17:17:17)
  • 104 (2025-06-13 (金) 17:38:09)
  • 105 (2025-06-19 (木) 10:29:53)
  • 106 (2025-10-16 (木) 19:16:59)
  • 107 (2025-12-11 (木) 14:16:27)

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mechCRwiki

コンパクトエッチャー

Samco FA-1
Nano-Platform Machine

Specification 仕様

• up to 4inch Wafer 4インチウエハまで
• Etching GAS: CF4 O2

Procedure 利用方法

Operation Training

1. Contact Prof. Tsuchiya (tutti@me.kyoto-u.ac.jp) to get a permission of usage.
2. Get operation training.
3. After operation training, e-mail to Prof. Tsuchiya and Ms. K. Kawano.

On Use

1. Book the machine through Website.
2. Prepare nanohub reservation form and send it to nanohub office through your supervisor (or contacting person).
3. Use it!
4. After usage, sign to the confirmation form.

Approved Users

Toshiyuki Tsuchiya
Yoshikazu Hirai
巽 和也
Kazuya Tsujimoto
一ノ瀬 雄平
杉本 広輔
川野 光輝
加藤 義基
長尾 圭将
福永 剛史
藤井 崇史

Manual

Machine Administrator

Toshiyuki Tsuchiya

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