mechCRwiki の履歴(No.16)

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機械系クリーンルーム mechCR†

このページは、機械系クリーンルームの情報を掲載します．

Introduction 紹介†

概要 -- まだ書いていません
利用ルール -- 講習会を受けてください
最新情報　-- には目をとおすこと
ユーザミーティング　-- 過去のミーティングで使用したスライドを保存しています．

利用申請書 Application form

日本語：&ref(): File not found: "桂CR利用申請書.xlsx" at page "mechCRwiki";
英　語：&ref(): File not found: "Application_form_for_mechCR.xlsx" at page "mechCRwiki";

Machines 装置†

Yellow Room イエロールーム

[A52] Stepper -- ステッパ
MovingMaskAligner -- 移動マスク露光装置
[A54] DoubleSideAligner -- 両面露光装置
LaserExposure -- レーザ直描露光装置
SingleSideAligner -- 簡易露光装置
HotPressMachine -- ホットプレス

Clean Room クリーンルーム

[A51] ElectronBeamWirter -- 電子ビーム露光装置
[B52] ICP-RIE -- ICP-RIE
CompactEtcher -- コンパクトエッチャ
WaferBonder -- ウエハ接合装置
RIE -- 汎用RIE
SputteringSystem -- スパッタ
ThermalDeposition -- 抵抗加熱蒸着装置
EBDeposition -- 電子ビーム蒸着装置
Nanoimprint -- ナノインプリント装置
Nanoimprint2 -- ナノインプリント装置
DesktopSEM -- 卓上SEM
IRInspector -- 赤外透過検査システム

Chemical Treatment Room化学処理室

[B51] ParyleneCoater -- パリレン蒸着装置
Dicer -- ダイサー
SurfaceProfilometer -- 触針式段差計
BallWireBonder -- ボールボンダ
WedgeWireBonder -- ウェッジボンダ
CriticalPointDryer -- 臨界点乾燥装置

Maintenance メンテナンス†

作業日誌

CROperationWG†

WG委員会議事録

PukiWikiドキュメント†