mechCRwiki の履歴(No.13)

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  • 1 (2013-11-14 (木) 22:22:40)
  • 2 (2013-11-14 (木) 23:07:26)
  • 3 (2013-11-15 (金) 10:50:27)
  • 4 (2013-11-15 (金) 18:26:16)
  • 5 (2013-11-17 (日) 20:39:59)
  • 6 (2013-11-17 (日) 22:28:24)
  • 7 (2013-12-30 (月) 22:03:39)
  • 8 (2014-01-02 (木) 13:43:51)
  • 9 (2014-01-05 (日) 17:01:09)
  • 10 (2014-01-05 (日) 20:54:09)
  • 11 (2014-01-06 (月) 12:49:25)
  • 12 (2014-01-15 (水) 15:45:36)
  • 13 (2014-01-15 (水) 17:02:31)
  • 14 (2014-04-04 (金) 14:47:00)
  • 15 (2014-04-04 (金) 14:49:55)
  • 16 (2015-07-16 (木) 17:10:03)
  • 17 (2019-10-06 (日) 20:13:47)
  • 18 (2020-04-07 (火) 16:40:04)
  • 19 (2020-04-08 (水) 01:52:21)
  • 20 (2021-03-09 (火) 19:45:34)
  • 21 (2021-03-09 (火) 19:45:34)
  • 22 (2021-03-09 (火) 19:45:34)
  • 23 (2021-03-16 (火) 02:38:01)
  • 24 (2021-03-16 (火) 20:50:48)
  • 25 (2021-05-09 (日) 05:03:29)
  • 26 (2022-04-06 (水) 22:29:31)
  • 27 (2022-12-27 (火) 04:06:11)

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年度末の大掃除を2/20(木)午後に行います．
Feb. 20: Special Cleaning. Please join!

機械系クリーンルーム mechCR†

このページは、機械系クリーンルームの情報を掲載します．

Introduction 紹介†

• 概要 -- まだ書いていません
• 利用ルール -- 講習会を受けてください
• 最新情報　-- には目をとおすこと
• ユーザミーティング　-- 過去のミーティングで使用したスライドを保存しています．

Machines 装置†

Yellow Room イエロールーム

• [A52] Stepper -- ステッパ
• MovingMaskAligner -- 移動マスク露光装置
• [A54] DoubleSideAligner -- 両面露光装置
• LaserExposure -- レーザ直描露光装置
• SingleSideAligner -- 簡易露光装置
• HotPressMachine -- ホットプレス

Clean Room クリーンルーム

• [A51] ElectronBeamWirter -- 電子ビーム露光装置
• [B52] ICP-RIE -- ICP-RIE
• CompactEtcher -- コンパクトエッチャ
• WaferBonder -- ウエハ接合装置
• RIE -- 汎用RIE
• SputteringSystem -- スパッタ
• ThermalDeposition -- 抵抗加熱蒸着装置
• EBDeposition -- 電子ビーム蒸着装置
• Nanoimprint -- ナノインプリント装置
• Nanoimprint2 -- ナノインプリント装置
• DesktopSEM -- 卓上SEM
• IRInspector -- 赤外透過検査システム

Chemical Treatment Room化学処理室

• [B51] ParyleneCoater -- パリレン蒸着装置
• Dicer -- ダイサー
• SurfaceProfilometer -- 触針式段差計
• BallWireBonder -- ボールボンダ
• WedgeWireBonder -- ウェッジボンダ
• CriticalPointDryer -- 臨界点乾燥装置

Maintenance メンテナンス†

• 作業日誌

CROperationWG†

• WG委員会議事録

PukiWikiドキュメント†

• ヘルプ -- PukiWikiで編集するには？
• テキスト整形のルール(詳細版)
• プラグインマニュアル