MaintenanceDiary の履歴(No.1)

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  • 1 (2013-11-15 (金) 10:40:29)
  • 2 (2013-11-15 (金) 10:46:13)
  • 3 (2013-11-15 (金) 18:39:51)
  • 4 (2019-10-07 (月) 05:13:46)
  • 5 (2021-03-09 (火) 19:48:50)

mechCRwiki

2013-11-15†

ICP-RIEの調整をしました．エッチングチャンバーのピラニゲージの調子が悪いのかもしれませんが，SF6で圧力をバラトロンで10Paにすると18Pa位になり，バルブをクローズしてしまうみたいです． 新コスモス電機の中谷さんの実験の対応で，ピラニゲージのSETPOINT-緑を少し上げてあります22Paくらい．終わったら15Pa位に戻したほうがいいかもしれない．