IRInspector の履歴(No.1)

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  • 1 (2014-01-15 (水) 19:05:03)
  • 2 (2014-01-15 (水) 19:05:37)
  • 3 (2019-10-06 (日) 20:13:46)
  • 4 (2020-02-23 (日) 17:01:30)
  • 5 (2020-04-08 (水) 00:53:54)
  • 6 (2021-03-09 (火) 19:48:22)

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赤外透過顕微鏡

SCHOTT MORITEX IR-MEMS Inspector

Main Application

Quality inspection, detection and evaluation:

• Wafer bonding void
  
• Chipping and after dicing
  
• MEMS device
  
• COG bond
• Nondestructive side etching measurement for SiO2 sacrificial layer etching

Specification 仕様

See the following URL: IR-MEMS Inspector

Procedure 利用方法

Operation Training

1. Contact Prof. Hirai (hirai@me.kyoto-u.ac.jp) to get a permission of usage.
2. Get operation training.
3. After operation training, e-mail to Prof. Hirai and Ms. K. Kawano.

On Use

Approved Users

辻本 和也

Machine Administrator

Yoshikazu Hirai

Photo