2014年10月1日

MEMSは振動環境下にさらされる工業製品に搭載されることがあり，工業製品の信頼性向上には，振動により内部のMEMSに生じる動的な応力を測定することが有用であると考えられます．本研究では時間分解顕微ラマ ...

SWCNT（単層カーボンナノチューブ）は優れた機械特性を示すことが知られています．しかし，その小ささゆえに実験データは多く得られていません．そこで我々は一括作製可能なMEMSによるSWCNT引張試験を ...

3軸加速度センサの感度をベクトル量で表す「マトリックス感度校正」が提案されています．本手法の実用化のためには複数個のセンサを並べて同時に測定する技術が必要です．本研究では測定の際に問題となる振動台の回 ...

MEMSの主な構造材料は，シリコン，シリコン化合物，金属薄膜などです． シリコンの機械的特性には温度依存性があることが知られていましたが，近年，寸法依存性があることも報告されており，その機械的特性の寸 ...

MEMSデバイスの構造材料として，半導体材料であるシリコンは広く用いられていますが，脆性材料であることからその機械的信頼性が課題となっています．マイクロ構造の引張試験，疲労試験などの試験手法の開発から ...

Adaptive optics (AO) is a significant device that corrects the wave front aberrations. This system i ...

Siナノワイヤは機械的・電気的特性に優れ，これをナノスケール構造体要素として用いた幅広い応用デバイスが注目されています．これらのデバイスの実現と信頼性の向上のため，MEMS構造体への一括集積化技術とそ ...

We investigated the source of acceleration sensitivity in fabricated tuning fork gyroscope (TFG) by ...