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本研究では,電気等価回路解析により制御電圧を含めた静電容量型ジャイロの最適設計を目指しています.静電容量型MEMSデバイスは機械構造・電気回路・電気機械変換器からなるシステムです.そのためシステム全体 ...

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MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)の設計およびその信頼性の定量的な評価には、微細構造に負荷される応力の評価が必要です。単結晶シリコン微細構造に静的な応力が負荷 ...