Sensors


10×10静電容量型加速度センサアレイ

静電容量型加速度センサは携帯電話,自動車など幅広く利用されています.本研究の目的はこのセンサの高感度化を行うことです.このため感度のスケール効果に着目し,体積を変えずに感度を向上させるアレイ構造を提案し,検証のため10×10個の1軸加速度セ […]


3軸加速度センサのマトリックス感度校正

3軸加速度センサの感度をベクトル量で表す「マトリックス感度校正」が提案されています.本手法の実用化のためには複数個のセンサを並べて同時に測定する技術が必要です.本研究では測定の際に問題となる振動台の回転運動や各センサの取付位置関係の影響評価 […]


大変位による非線形応答を考慮した静電櫛歯型MEMSデバイスの電気等価回路の構築

MEMSデバイスは半導体微細加工技術を用い,微小な機械構造を電子回路とともに作りこむものです.そのためMEMSデバイスの設計や解析においては電気系・機械系の複雑な練成解析が必要となります.そこで,電気系と機械系を一度に解析することができる電 […]


原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止

幅広い応用分野での活躍が期待される原子磁気センサで中心的役割を果たすセル(アルカリ金属蒸気と不活性ガスを気密封止したガラス容器)内の雰囲気制御性の向上を目指した新規なMEMS気密封止技術の確立に取り組んでいます.提案手法のコンセプトは,セル […]


自己変位検出型静電櫛歯モデルを用いたMEMS振動ジャイロの電気等価回路解析

 本研究では,電気等価回路の静電容量型ジャイロの設計への応用を目指しております.静電容量型MEMSデバイスは機械構造・電気回路・電気機械変換器からなるシステムです.そのためシステム全体を等価な回路で表現し,周辺回路を含めたデバイス全体を統合 […]


静電容量型3軸加速度センサ

高感度,低ノイズ,耐久性といった特性が要求される物理探査用加速度センサとして我々は,櫛歯型垂直変位電極を応用したSOI静電容量型3軸加速度センサを提案します.その特徴は(1)SOIウェハを用いた単一構造体により一点での正確な3軸加速度の検出 […]


静電容量型超音波トランスデューサ

次世代の医療用超音波診断用探触子として注目されている静電容量型振動子(cMUT)において,更なる低電圧駆動化と高感度化を実現するメンブレン構造の最適設計に取り組んでいます.cMUTは電極として機能するメンブレンおよび基板から構成されており, […]