Research

ニューロモーフィック・コンピューティングのハードウェア実装手法において，リザーバーコンピューティング（RC）は、有力な候補の一つとして期待されています。我々はRCにおける物理的なリザーバーとして、静電 ...

熱電子発電では電極間に温度差を与え放出される電子を回収して発電を行う．通常熱電子発電には1000 ℃以上の高温が必要だが，ギャップ間をナノサイズに縮小すると電極間の電子放出が容易になり，適用温度範囲を ...

The a-C:H (Hydrogenated Amorphous Carbon) film is one of the promising coating material in MEMS indu ...

リザバーコンピューティング（RC）とは時系列で変化する信号に対し,分類や予測などを行う際に用いられる機械学習手法の一つである．量子やスピン波などのマイクロ・ナノレベルで実現可能な非線形ダイナミクスの潜 ...

ねじり梁を用いたMEMSミラーはセンサーやメディアデバイスに用いられる重要な要素部品です. MEMSミラーは基板材料としてバルクSiウエハを用いることで従来のSOIウエハに比べ大幅に材料コストを低減す ...

A geometrical compensation design method in (100) single crystal silicon (SCS) vibrating ring gyrosc ...

熱電子発電は，高温のエミッタから放出される熱電子を対向するコレクタで回収し発電を行う．エミッタとコレクタの距離をナノスケールにまで小さくしたもの，すなわちナノギャップを用いることで量子効果により室温程 ...

MEMS振動ジャイロの大幅な性能向上を目的として単結晶ニオブ酸リチウムを用いた圧電ディスク型振動ジャイロを提案した．弾性特性，圧電特性において結晶異方性を有するニオブ酸リチウムでモードマッチングしたワ ...