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ナノ共振器はナノスケールの幅寸法を有する梁を用いた振動子のことであり、タンパク質量や原子間力といった微小な物理量を測定する高感度センシングに応用されている。微小な質量や力の影響を受けて共振周波数が変化 ...

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近年、IoT社会の到来でセンサの小型化・低価格化が期待されている中、MEMS円環型振動ジャイロが注目されています。先行研究では、加工コストが低く材料特性のばらつきが小さい(100)単結晶シリコンを材料 ...

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MEMSミラーは鏡の両側にある支持梁のねじれ振動にて反射光を走査する光学素子で、内視鏡・Lidar等の空間走査システムへの応用に向け高性能化が望まれています。しかし、現状鏡面のゆがみや梁応力により性能 ...

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熱電子発電は,高温のエミッタから放出される熱電子を対向するコレクタで回収し発電を行います.エミッタとコレクタの距離をナノスケールにまで小さくしたもの,すなわちナノギャップを用いることで量子効果により室 ...

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社会の急速な情報化に伴って機械学習やデータ解析の需要が高まる中で、非線形物理現象の過渡的な状態変化を利用することで低い計算負荷で学習を行う物理リザバーコンピューティング(PRC)技術が注目を集めていま ...

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流体の熱物性の情報はデバイスの熱設計や熱特性の評価に必要不可欠です。本研究では流体の熱物性計測を目指し、その計測手法として3ω法に注目しています。従来の3ωセンサでは基板への熱散逸により感度が低下する ...

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Nano-scale mechanical resonator devices have emerged as promising candidates for constructing ultras ...

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 熱電子発電では,電極間に温度差を与え放出された熱電子を回収することで発電を行う.通常は熱電子の放出に1000℃以上の高温が必要となるが,電極の間隔を数ナノメートルとすることでトンネル効果による電子の ...