Nanomaterials


シリコンナノワイヤ製ねじれ梁の寸法効果を利用した MEMSチルトミラーの高信頼化

ねじり梁型MEMSミラーはレーザーの反射角度を連続的に変化させることで空間を走査を実現するデバイスです.近年では車載用測距センサ用に用いられることもあり,高速・大走査角という条件下での信頼性の向上が求められます.本研究ではミラーの小型化及び […]


MEMSデバイスを用いたCarbon Nanotube引張試験

   統計評価可能な測定数実現をめざし、カーボンナノチューブ(CNT)引張試験法を開発しています。CNTは極めて微小なため欠陥がその強度に大きく影響し、測定結果がばらつくことが予想されます。しかし、従来の測定法ではCNTを測定系に組み込む工 […]


粒子転写法によるナノ粒子パターニング

   ナノメートルスケールの粒子は量子効果や局在表面プラズモンの発現,高い反応性などの特殊な性質を示す.本研究ではこれらの特性をデバイスや機能材料へと応用することを目指し,サブミクロン・ナノ粒子から成るナノ構造作製技術(粒子アセンブル技術) […]